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GaInP应力补偿层在InAs/GaAs量子点制备过程中的应用研究

摘要第3-4页
Abstract第4页
第1章 绪论第7-17页
    1.1 量子点简介第7-9页
    1.2 应变补偿技术在 InAs/GaAs 量子点中的应用第9-12页
    1.3 量子点太阳电池及其发展第12-15页
    1.4 本文选题意义和主要内容第15-17页
第2章 InAs/GaAs 量子点生长机理及应变补偿理论第17-34页
    2.1 InAs/GaAs 量子点的生长机理第17-24页
        2.1.1 晶格失配和临界厚度第17-19页
        2.1.2 量子点生长方法第19-21页
        2.1.3 外延生长 InAs/GaAs 量子点的机理第21-22页
        2.1.4 量子点中的态密度第22-24页
    2.2 应变补偿理论第24-32页
        2.2.1 应变和应变补偿第24-26页
        2.2.2 应变补偿对量子点生长影响的理论研究第26-32页
    2.3 小结第32-34页
第3章 实验设备仪器和实验前期工作第34-54页
    3.1 实验仪器设备介绍第34-44页
        3.1.1 MOCDV 外延生长设备第34-41页
        3.1.2 材料表征仪器第41-44页
    3.2 InAs/GaAs 单层量子点的生长第44-49页
        3.2.1 单层量子点生长第45-46页
        3.2.2 单层量子点表征第46-49页
    3.3 GaInP 体材料的生长与表征第49-52页
    3.4 小结第52-54页
第4章 应变补偿量子点的生长与表征第54-67页
    4.1 应变补偿量子点结构设计第54-57页
        4.1.1 常见结构第54-55页
        4.1.2 结构设计第55-57页
    4.2 应变补偿量子点的生长第57-59页
    4.3 应变补偿量子点的表征第59-64页
        4.3.1 应变补偿层生长温度的影响第59-60页
        4.3.2 应变补偿层厚度和组分的影响第60-64页
    4.4 实验结果分析第64-66页
    4.5 小结第66-67页
第5章 总结与展望第67-69页
    5.1 总结第67-68页
    5.2 存在的不足及今后的工作方向第68-69页
参考文献第69-74页
攻读学位期间发表的学术论文和研究成果第74-75页
致谢第75页

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