| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 钛酸锶钡的组成、结构和性质 | 第8-9页 |
| 1.3 钛酸锶钡铁电薄膜的性质 | 第9-10页 |
| 1.4 钛酸锶钡铁电薄膜的掺杂机理 | 第10页 |
| 1.5 钛酸锶钡铁电薄膜的制备方法 | 第10-12页 |
| 1.5.1 磁控溅射法 | 第10-11页 |
| 1.5.2 脉冲激光沉积法 | 第11页 |
| 1.5.3 化学气相沉积法 | 第11页 |
| 1.5.4 溶胶-凝胶法 | 第11-12页 |
| 1.6 钛酸锶钡铁电薄膜的研究意义、现状和应用 | 第12-14页 |
| 1.6.1 钛酸锶钡铁电薄膜的研究意义 | 第12页 |
| 1.6.2 钛酸锶铡铁电薄膜的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.6.3 钛酸锶钡薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.7 论文主要研究内容及工作安排 | 第14-16页 |
| 第二章 实验部分 | 第16-22页 |
| 2.1 主要实验药品与设备 | 第16页 |
| 2.2 钛酸锶钡薄膜的制备流程 | 第16-19页 |
| 2.3 工艺参数的确定及薄膜结构、性能的表征 | 第19-21页 |
| 2.3.1 热重及热差分析 | 第19页 |
| 2.3.2 薄膜成分的表征 | 第19-20页 |
| 2.3.3 薄膜形貌及组成元素的表征 | 第20页 |
| 2.3.4 薄膜厚度的表征 | 第20页 |
| 2.3.5 薄膜光学性能的表征 | 第20-21页 |
| 2.5 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 本征钛酸锶钡薄膜的制备及其光学性能研究 | 第22-42页 |
| 3.1 钛酸锶钡干凝胶的热分析 | 第22-23页 |
| 3.2 各个因素对钛酸锶钡薄膜影响的实验结果表征及分析 | 第23-39页 |
| 3.2.1 陈化条件 | 第23-24页 |
| 3.2.2 预处理温度 | 第24-26页 |
| 3.2.3 退火温度 | 第26-32页 |
| 3.2.4 表面活性剂-聚乙烯吡咯烷酮 | 第32-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-42页 |
| 第四章 掺杂钛酸锶钡薄膜的制备及其光学性能研究 | 第42-60页 |
| 4.1 掺杂剂的选取及实验设计 | 第42-44页 |
| 4.1.1 掺杂剂的选取 | 第42-43页 |
| 4.1.2 掺杂实验设计 | 第43页 |
| 4.1.3 掺杂钛酸锶钡薄膜的制备 | 第43-44页 |
| 4.2 La掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的制备及其光性能研究 | 第44-51页 |
| 4.2.1 La掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的XRD分析 | 第44-45页 |
| 4.2.2 La掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的SEM和EDS分析 | 第45-48页 |
| 4.2.3 La掺杂对Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜光性能的影响 | 第48-51页 |
| 4.3 Mn掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的制备及其光性能研究 | 第51-57页 |
| 4.3.1 Mn掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的XRD分析 | 第51-52页 |
| 4.3.2 Mn掺杂Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜的SEM和EDS分析 | 第52-54页 |
| 4.3.3 Mn掺杂对Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜光性能的影响 | 第54-57页 |
| 4.4 本章小结 | 第57-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 工作总结 | 第60页 |
| 5.2 工作展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
