| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第15-31页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第15-17页 |
| 1.2 核电站氢气浓度监测技术与系统 | 第17-20页 |
| 1.2.1 核电站氢气浓度监测技术 | 第17-18页 |
| 1.2.2 安全壳内氢气浓度测量系统 | 第18-20页 |
| 1.3 氢气浓度传感器的研究现状 | 第20-29页 |
| 1.3.1 氢敏感材料的主要类型 | 第22-25页 |
| 1.3.2 氢气传感器研究存在的问题 | 第25-29页 |
| 1.3.3 改进方法 | 第29页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 核电站氢浓度监测系统技术分析 | 第31-40页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 安全壳内氢气浓度测量技术 | 第32-34页 |
| 2.3 安全壳内氢浓度测量系统 | 第34-39页 |
| 2.3.1 安全壳外气体抽出式测量系统 | 第34-36页 |
| 2.3.2 安全壳内直接测量系统 | 第36-37页 |
| 2.3.3 两种氢浓度测量系统技术对比分析 | 第37-39页 |
| 2.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 钯-银合金薄膜溅射模型 | 第40-60页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 钯-银合金薄膜溅射模型 | 第40-53页 |
| 3.2.1 钯-银合金配比与氢气溶解度的关系 | 第40-46页 |
| 3.2.2 钯-银合金薄膜溅射数学模型的建立 | 第46-53页 |
| 3.3 钯-银合金薄膜制备过程中存在的问题 | 第53-59页 |
| 3.3.1 基底的选择问题 | 第53页 |
| 3.3.2 附着力问题 | 第53-56页 |
| 3.3.3 提高薄膜与基体附着力的方法 | 第56-59页 |
| 3.4 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 钯—银合金氢敏感元件的制备 | 第60-88页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 实验仪器及材料 | 第60-62页 |
| 4.3 金属掩模板蚀刻成型 | 第62-69页 |
| 4.3.1 光化学成型工艺 | 第62-63页 |
| 4.3.2 模板设计与制作 | 第63-64页 |
| 4.3.3 选材与清洗 | 第64页 |
| 4.3.4 蚀刻成型 | 第64-68页 |
| 4.3.5 测量分析 | 第68-69页 |
| 4.4 陶瓷片的预处理 | 第69-70页 |
| 4.5 溅射镀膜 | 第70-87页 |
| 4.5.1 溅射时间和薄膜厚度及电阻值关系 | 第72-74页 |
| 4.5.2 钯—银合金膜对传感器幅值响应和响应时问的影响 | 第74-76页 |
| 4.5.3 基底温度对钯—银合金薄膜结构和响应性能的影响 | 第76-77页 |
| 4.5.4 不同基底材料对钯—银合金薄膜电性能的影响 | 第77-84页 |
| 4.5.5 预溅射和原位热处理对钯-银合金薄膜质量的影响 | 第84-87页 |
| 4.6 本章小结 | 第87-88页 |
| 第5章 钯—银合金氢气传感器的实验测试 | 第88-102页 |
| 5.1 引言 | 第88页 |
| 5.2 钯—银合金氢气传感器的样机实现 | 第88-91页 |
| 5.3 氢气传感器样机的性能测试 | 第91-101页 |
| 5.3.1 实验测试装置 | 第91-93页 |
| 5.3.2 传感器对不同氢气浓度的输出响应 | 第93-95页 |
| 5.3.3 响应时间测试 | 第95页 |
| 5.3.4 重复性测试实验 | 第95-96页 |
| 5.3.5 温度测试实验 | 第96-98页 |
| 5.3.6 混合气体交叉实验 | 第98-99页 |
| 5.3.7 湿度测试实验 | 第99-100页 |
| 5.3.8 压力实验 | 第100-101页 |
| 5.4 本章小结 | 第101-102页 |
| 第6章 钯—银合金氢气传感器浓度监测系统设计 | 第102-123页 |
| 6.1 引言 | 第102页 |
| 6.2 监测系统总体结构设计 | 第102-104页 |
| 6.3 监测系统硬件设计 | 第104-113页 |
| 6.3.1 微弱信号的检测处理 | 第105-106页 |
| 6.3.2 放大器的噪声系数 | 第106-107页 |
| 6.3.3 信号源与输入级的匹配 | 第107-109页 |
| 6.3.4 低噪声放大电路 | 第109-111页 |
| 6.3.5 滤波电路设计 | 第111-112页 |
| 6.3.6 ADC与微处理器接口电路 | 第112-113页 |
| 6.4 监测系统软件设计 | 第113-118页 |
| 6.4.1 外围设备驱动程序设计 | 第113-114页 |
| 6.4.2 应用程序设计 | 第114-118页 |
| 6.5 监测系统实验性能分析 | 第118-122页 |
| 6.6 本章小结 | 第122-123页 |
| 第7章 结论与展望 | 第123-125页 |
| 7.1 结论 | 第123-124页 |
| 7.2 创新点 | 第124页 |
| 7.3 展望 | 第124-125页 |
| 参考文献 | 第125-133页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第133-134页 |
| 攻读博士学位期间参加的科研工作 | 第134-135页 |
| 致谢 | 第135-136页 |
| 作者简介 | 第136页 |
