微纳米三坐标接触式探头优化设计
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-20页 |
| 1.1 研究起源与目的 | 第15页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第15-18页 |
| 1.2.1 电容式 | 第15-16页 |
| 1.2.2 电阻式 | 第16页 |
| 1.2.3 电感式 | 第16-17页 |
| 1.2.4 光纤探针式 | 第17页 |
| 1.2.5 光学传感式 | 第17-18页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 微纳米三维接触式探头结构及原理 | 第20-43页 |
| 2.1 探头器件原理介绍 | 第20-25页 |
| 2.1.1 QPD原理 | 第20页 |
| 2.1.2 弹性机构原理 | 第20-24页 |
| 2.1.3 弹性机构仿真分析对比 | 第24页 |
| 2.1.4 单层和双层弹性机构仿真分析对比 | 第24-25页 |
| 2.2 触发探头结构及原理 | 第25-29页 |
| 2.2.1 整体结构及原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 光学传感器原理 | 第26-27页 |
| 2.2.3 灵敏度模型分析 | 第27-29页 |
| 2.3 扫描式探头结构及原理 | 第29-39页 |
| 2.3.1 整体结构及原理 | 第29-31页 |
| 2.3.2 光学传感器原理 | 第31-32页 |
| 2.3.3 灵敏度模型分析 | 第32-39页 |
| 2.4 探头的信号处理电路设计 | 第39-41页 |
| 2.4.1 I/V转换电路设计 | 第39-40页 |
| 2.4.2 信号放大电路设计 | 第40页 |
| 2.4.3 信号运算电路设计 | 第40-41页 |
| 2.4.4 数据采集 | 第41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第三章 微纳米三维接触式探头性能测试 | 第43-59页 |
| 3.1 弹性机构刚度测试 | 第43-44页 |
| 3.2 触发式探头性能测试 | 第44-50页 |
| 3.2.1 实验装置 | 第44页 |
| 3.2.2 重复性测试 | 第44-47页 |
| 3.2.3 最小分辨率测试 | 第47-49页 |
| 3.2.4 感测范围 | 第49页 |
| 3.2.5 稳定度测试 | 第49-50页 |
| 3.3 扫描式探头性能测试 | 第50-58页 |
| 3.3.1 实验装置 | 第50-51页 |
| 3.3.2 重复性测试 | 第51-55页 |
| 3.3.3 最小分辨率测试 | 第55-56页 |
| 3.3.4 簧片振动测试 | 第56-57页 |
| 3.3.5 感测范围 | 第57页 |
| 3.3.6 稳定性测试 | 第57-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 微纳米三维接触式探头校正及改进方案 | 第59-66页 |
| 4.1 探头的校正 | 第59-62页 |
| 4.1.1 探针与悬浮片不垂直 | 第59-60页 |
| 4.1.2 触碰测球的平面与其运动方向不垂直 | 第60页 |
| 4.1.3 探头坐标系与PI坐标系不完全一致 | 第60-61页 |
| 4.1.4 PI坐标系与工件坐标系不完全一致 | 第61-62页 |
| 4.2 探头的改进 | 第62-65页 |
| 4.2.1 双层弹性机构改进 | 第62-63页 |
| 4.2.2 光学传感器改进 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 5.1 研究总结 | 第66-67页 |
| 5.2 研究工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第71页 |
| 1) 参加的学术交流与科研项目 | 第71页 |
| 2) 发表的学术论文 | 第71页 |
| 3) 发表专利 | 第71页 |
| 4) 获得的奖励 | 第71页 |
