| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-10页 |
| 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 课题来源及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 环境箱结构设计 | 第21-36页 |
| 2.1 结构设计 | 第21-31页 |
| 2.1.1 绝热材料 | 第23-25页 |
| 2.1.2 除湿方法 | 第25-27页 |
| 2.1.3 组装工艺 | 第27-31页 |
| 2.2 制冷片原理 | 第31-33页 |
| 2.2.1 热电制冷片简介 | 第31-32页 |
| 2.2.2 塞贝克效应 | 第32页 |
| 2.2.3 汤姆逊效应 | 第32页 |
| 2.2.4 帕尔贴效应 | 第32-33页 |
| 2.3 制冷量计算 | 第33-35页 |
| 2.3.1 绝热的方法和类型 | 第33-34页 |
| 2.3.2 环境箱的热传导原理 | 第34页 |
| 2.3.3 腔体冷负荷计算 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 环境箱测控系统设计 | 第36-50页 |
| 3.1 箱体测控系统硬件设计 | 第36-44页 |
| 3.1.1 温度传感器的选择 | 第37-38页 |
| 3.1.2 温度传感器标定 | 第38-41页 |
| 3.1.3 高精度温度测量仪 | 第41-42页 |
| 3.1.4 多路温度测量单元 | 第42-43页 |
| 3.1.5 制冷模块的驱动电源 | 第43-44页 |
| 3.1.6 湿度记录仪 | 第44页 |
| 3.2 箱体测控系统软件设计 | 第44-49页 |
| 3.2.1 基于LabVIEW的测控系统软件设计 | 第44-46页 |
| 3.2.2 温度测量部分软件设计 | 第46-48页 |
| 3.2.3 温度控制部分软件设计 | 第48-49页 |
| 3.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 环境箱数学模型与控制算法 | 第50-57页 |
| 4.1 箱体数学模型建立与仿真 | 第50-52页 |
| 4.2 PID控制及参数整定 | 第52-56页 |
| 4.2.1 PID控制概述 | 第52-53页 |
| 4.2.2 数字式PID分类 | 第53-55页 |
| 4.2.4 系统PID参数软件仿真法 | 第55-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 测试实验 | 第57-65页 |
| 5.1 箱内温度、湿度实验 | 第57-60页 |
| 5.1.1 温度、湿度响应实验 | 第57-59页 |
| 5.1.2 温度场实验 | 第59-60页 |
| 5.2 环境箱内的纳米三坐标测量机传感器稳定式实验 | 第60-64页 |
| 5.2.1 迈克尔逊干涉仪跳变量实验 | 第60-61页 |
| 5.2.2 纳米三坐标测量机稳定性测试 | 第61-62页 |
| 5.2.3 台湾大学环境箱测试实验 | 第62-64页 |
| 5.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 研究总结 | 第65页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第70页 |
| 1) 参加的学术交流与科研项目 | 第70页 |
| 2) 发表的学术论文 | 第70页 |
| 3) 获得的学术奖励 | 第70页 |