ÕªÒª | µÚ6-8Ò³ |
ABSTRACT | µÚ8-9Ò³ |
µÚÒ»Õ Ð÷ÂÛ | µÚ12-26Ò³ |
1.1 ÒýÑÔ | µÚ12-13Ò³ |
1.2 SiCµÄ»ù±¾ÐÔÖÊ | µÚ13-16Ò³ |
1.2.1 SiCµÄ½á¹¹ | µÚ14-15Ò³ |
1.2.2 SiCµÄÎïÀíÐÔÖÊ | µÚ15Ò³ |
1.2.3 SiCµÄµçѧÐÔÖÊ | µÚ15Ò³ |
1.2.4 SiCµÄ»¯Ñ§ÐÔÖÊ | µÚ15Ò³ |
1.2.5 SiCµÄ¹âѧÐÔÖÊ | µÚ15-16Ò³ |
1.3 ÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵĻúÖÆ | µÚ16-18Ò³ |
1.4 SiCÄÉÃײÄÁϵÄÖÆ±¸·½·¨ | µÚ18-24Ò³ |
1.4.1 ̼ÈÈ»¹Ô·¨ | µÚ18-19Ò³ |
1.4.2 »¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨ | µÚ19-20Ò³ |
1.4.3 µç»¡·Åµç·¨ | µÚ20-21Ò³ |
1.4.4 Ä£°å·¨ | µÚ21-22Ò³ |
1.4.5 ÈȽâÓлúǰÇýÌå·¨ | µÚ22Ò³ |
1.4.6 ÈÛÑη¨ | µÚ22-24Ò³ |
1.5 SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ¦Óà | µÚ24-25Ò³ |
1.5.1 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚ¹âѧ·½ÃæµÄÓ¦Óà | µÚ24Ò³ |
1.5.2 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚµçѧ·½ÃæµÄÓ¦Óà | µÚ24-25Ò³ |
1.5.3 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚÁ¦Ñ§·½ÃæµÄÓ¦Óà | µÚ25Ò³ |
1.6 ±¾ÂÛÎĵÄÑо¿±³¾°ºÍÄÚÈÝ | µÚ25-26Ò³ |
µÚ¶þÕ ÑùÆ·µÄÖÆ±¸ºÍ²âÊÔ±íÕ÷ | µÚ26-36Ò³ |
2.1 ʵÑéÔÁϼ°ÒÇÆ÷É豸 | µÚ26-27Ò³ |
2.1.1 ʵÑéÔÁÏ | µÚ26-27Ò³ |
2.1.2 ʵÑéÉ豸 | µÚ27Ò³ |
2.2 ʵÑé·½·¨ | µÚ27-33Ò³ |
2.2.1 Æø¹Ì·¨ÊµÑéÁ÷³Ì | µÚ27-31Ò³ |
2.2.2 ÈÛÑη¨ÊµÑéÁ÷³Ì | µÚ31-33Ò³ |
2.3 ÑùÆ·µÄ±íÕ÷ | µÚ33-35Ò³ |
2.3.1 XÉäÏßÑÜÉ䣨XRD£© | µÚ33Ò³ |
2.3.2 ɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µ(SEM£© | µÚ33-34Ò³ |
2.3.3 ͸Éäµç×ÓÏÔ΢¾µ&XÉäÏßÄܯף¨TEM&EDS£© | µÚ34Ò³ |
2.3.4 ÀÂü¹âÆ×£¨Raman spectra£© | µÚ34-35Ò³ |
2.4 ±¾ÕÂС½á | µÚ35-36Ò³ |
µÚÈýÕÂ Æø¹Ì·¨ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁÏ | µÚ36-51Ò³ |
3.1 ǰÑÔ | µÚ36Ò³ |
3.2 ÑùÆ·ÖÆ±¸Óë±íÕ÷ | µÚ36-37Ò³ |
3.3 ʯīÛáÛöÖв»Í¬ÊµÑéÌõ¼þ¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ37-44Ò³ |
3.3.1 ζȶÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ37-38Ò³ |
3.3.2 ±£ÎÂʱ³¤¶ÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ38-40Ò³ |
3.3.3 ʯīÛáÛöÖÐÖÆ±¸ÑùÆ·µÄÐÎò±íÕ÷ | µÚ40-42Ò³ |
3.3.4 ʵÑé·ÕΧ¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ42-44Ò³ |
3.4 ¸ÕÓñÛáÛöÖв»Í¬Ìõ¼þ϶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ44-50Ò³ |
3.4.1 ζȶÔÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ44-47Ò³ |
3.4.2 ±£ÎÂʱ³¤¶ÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ47-48Ò³ |
3.4.3 ¸ÕÓñÛáÛöÖÐÖÆ±¸ÑùÆ·ÐÎò±íÕ÷ | µÚ48-50Ò³ |
3.5 ±¾ÕÂС½á | µÚ50-51Ò³ |
µÚËÄÕ ÈÛÑη¨ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁÏ | µÚ51-66Ò³ |
4.1 ÒýÑÔ | µÚ51-52Ò³ |
4.2 ÑùÆ·ÖÆ±¸ | µÚ52-53Ò³ |
4.3 Si·ÛºÍʯīϩ·Ö±ð×÷ΪSiÔ´ºÍ̼ԴÀ´ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁÏ | µÚ53-60Ò³ |
4.3.1 LiCl-KClÈÛÑÎÌåϵ | µÚ53-54Ò³ |
4.3.2 NaCl-NaFÈÛÑÎÌåϵ | µÚ54-56Ò³ |
4.3.3 NaClÈÛÑÎÌåϵ | µÚ56-60Ò³ |
4.4 SiO2ºÍʯīϩ·Ö±ð×÷ΪSiÔ´ºÍ̼ԴÀ´ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁÏ | µÚ60-65Ò³ |
4.4.1 þÈÈ»¹ÔSiO2ʵÑéÔÀí | µÚ60-61Ò³ |
4.4.2 ÔÁϲ»Í¬Åä±È¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°Ïì | µÚ61-65Ò³ |
4.5 ±¾ÕÂС½á | µÚ65-66Ò³ |
µÚÎåÕ ×ܽáÓëÕ¹Íû | µÚ66-68Ò³ |
²Î¿¼ÎÄÏ× | µÚ68-73Ò³ |
¹¥¶Á˶ʿѧλÆÚ¼ä·¢±íµÄѧÊõÂÛÎļ°È¡µÃµÄÏà¹Ø¿ÆÑгɹû | µÚ73-74Ò³ |
ÖÂл | µÚ74-75Ò³ |