Ê×Ò³--¹¤Òµ¼¼ÊõÂÛÎÄ--Ò»°ã¹¤Òµ¼¼ÊõÂÛÎÄ--¹¤³Ì²ÄÁÏѧÂÛÎÄ--ÌØÖֽṹ²ÄÁÏÂÛÎÄ

Ê¯Ä«Ï©ÎªÌ¼Ô´ÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÑо¿

ÕªÒªµÚ6-8Ò³
ABSTRACTµÚ8-9Ò³
µÚÒ»Õ Ð÷ÂÛµÚ12-26Ò³
    1.1 ÒýÑÔµÚ12-13Ò³
    1.2 SiCµÄ»ù±¾ÐÔÖʵÚ13-16Ò³
        1.2.1 SiCµÄ½á¹¹µÚ14-15Ò³
        1.2.2 SiCµÄÎïÀíÐÔÖʵÚ15Ò³
        1.2.3 SiCµÄµçѧÐÔÖʵÚ15Ò³
        1.2.4 SiCµÄ»¯Ñ§ÐÔÖʵÚ15Ò³
        1.2.5 SiCµÄ¹âѧÐÔÖʵÚ15-16Ò³
    1.3 ÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵĻúÖÆµÚ16-18Ò³
    1.4 SiCÄÉÃײÄÁϵÄÖÆ±¸·½·¨µÚ18-24Ò³
        1.4.1 ̼ÈÈ»¹Ô­·¨µÚ18-19Ò³
        1.4.2 »¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨µÚ19-20Ò³
        1.4.3 µç»¡·Åµç·¨µÚ20-21Ò³
        1.4.4 Ä£°å·¨µÚ21-22Ò³
        1.4.5 ÈȽâÓлúǰÇýÌå·¨µÚ22Ò³
        1.4.6 ÈÛÑ稵Ú22-24Ò³
    1.5 SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ¦ÓõÚ24-25Ò³
        1.5.1 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚ¹âѧ·½ÃæµÄÓ¦ÓõÚ24Ò³
        1.5.2 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚµçѧ·½ÃæµÄÓ¦ÓõÚ24-25Ò³
        1.5.3 SiCÄÉÃײÄÁÏÔÚÁ¦Ñ§·½ÃæµÄÓ¦ÓõÚ25Ò³
    1.6 ±¾ÂÛÎĵÄÑо¿±³¾°ºÍÄÚÈݵÚ25-26Ò³
µÚ¶þÕ ÑùÆ·µÄÖÆ±¸ºÍ²âÊÔ±íÕ÷µÚ26-36Ò³
    2.1 ʵÑéÔ­Áϼ°ÒÇÆ÷É豸µÚ26-27Ò³
        2.1.1 ʵÑéÔ­ÁϵÚ26-27Ò³
        2.1.2 ʵÑéÉ豸µÚ27Ò³
    2.2 ʵÑé·½·¨µÚ27-33Ò³
        2.2.1 Æø¹Ì·¨ÊµÑéÁ÷³ÌµÚ27-31Ò³
        2.2.2 ÈÛÑη¨ÊµÑéÁ÷³ÌµÚ31-33Ò³
    2.3 ÑùÆ·µÄ±íÕ÷µÚ33-35Ò³
        2.3.1 XÉäÏßÑÜÉ䣨XRD£©µÚ33Ò³
        2.3.2 ɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µ(SEM£©µÚ33-34Ò³
        2.3.3 ͸Éäµç×ÓÏÔ΢¾µ&XÉäÏßÄܯף¨TEM&EDS£©µÚ34Ò³
        2.3.4 À­Âü¹âÆ×£¨Raman spectra£©µÚ34-35Ò³
    2.4 ±¾ÕÂС½áµÚ35-36Ò³
µÚÈýÕÂ Æø¹Ì·¨ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁϵÚ36-51Ò³
    3.1 ǰÑÔµÚ36Ò³
    3.2 ÑùÆ·ÖÆ±¸Óë±íÕ÷µÚ36-37Ò³
    3.3 ʯīÛáÛöÖв»Í¬ÊµÑéÌõ¼þ¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ37-44Ò³
        3.3.1 ζȶÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ37-38Ò³
        3.3.2 ±£ÎÂʱ³¤¶ÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ38-40Ò³
        3.3.3 ʯīÛáÛöÖÐÖÆ±¸ÑùÆ·µÄÐÎò±íÕ÷µÚ40-42Ò³
        3.3.4 ʵÑé·ÕΧ¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ42-44Ò³
    3.4 ¸ÕÓñÛáÛöÖв»Í¬Ìõ¼þ϶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ44-50Ò³
        3.4.1 ζȶÔÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ44-47Ò³
        3.4.2 ±£ÎÂʱ³¤¶ÔÕæ¿Õ·ÕΧÏÂÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ47-48Ò³
        3.4.3 ¸ÕÓñÛáÛöÖÐÖÆ±¸ÑùÆ·ÐÎò±íÕ÷µÚ48-50Ò³
    3.5 ±¾ÕÂС½áµÚ50-51Ò³
µÚËÄÕ ÈÛÑη¨ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁϵÚ51-66Ò³
    4.1 ÒýÑÔµÚ51-52Ò³
    4.2 ÑùÆ·ÖÆ±¸µÚ52-53Ò³
    4.3 Si·ÛºÍʯīϩ·Ö±ð×÷ΪSiÔ´ºÍ̼ԴÀ´ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁϵÚ53-60Ò³
        4.3.1 LiCl-KClÈÛÑÎÌåϵµÚ53-54Ò³
        4.3.2 NaCl-NaFÈÛÑÎÌåϵµÚ54-56Ò³
        4.3.3 NaClÈÛÑÎÌåϵµÚ56-60Ò³
    4.4 SiO2ºÍʯīϩ·Ö±ð×÷ΪSiÔ´ºÍ̼ԴÀ´ÖƱ¸SiCÄÉÃײÄÁϵÚ60-65Ò³
        4.4.1 þÈÈ»¹Ô­SiO2ʵÑéÔ­ÀíµÚ60-61Ò³
        4.4.2 Ô­Áϲ»Í¬Åä±È¶ÔÖÆ±¸SiCÄÉÃײÄÁϵÄÓ°ÏìµÚ61-65Ò³
    4.5 ±¾ÕÂС½áµÚ65-66Ò³
µÚÎåÕ ×ܽáÓëÕ¹ÍûµÚ66-68Ò³
²Î¿¼ÎÄÏ×µÚ68-73Ò³
¹¥¶Á˶ʿѧλÆÚ¼ä·¢±íµÄѧÊõÂÛÎļ°È¡µÃµÄÏà¹Ø¿ÆÑгɹûµÚ73-74Ò³
ÖÂлµÚ74-75Ò³

ÂÛÎĹ²75Ò³£¬µã»÷ ÏÂÔØÂÛÎÄ
ÉÏһƪ£ºÂÁ»ùºÏ½ðÕæ¿ÕÎüÖý¹¤ÒÕ·ÂÕæ¼°×éÖ¯¿ØÖÆÑо¿
ÏÂһƪ£ºÏ¡ÍÁÀë×Ó²ôÔÓ·¢¹â²£Á§µÄ¹âѧÐÔÄÜÑо¿