微结构表面三维形貌测量的数字全息方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·本文研究背景 | 第8-9页 |
| ·国外研究现状 | 第9-10页 |
| ·国内研究现状 | 第10-11页 |
| ·本文主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 数字全息基本原理 | 第12-24页 |
| ·数字全息基本理论 | 第12页 |
| ·数字全息成像测量基本原理 | 第12-20页 |
| ·全息图的波前记录 | 第12-14页 |
| ·全息图的波前再现 | 第14-16页 |
| ·离轴菲涅尔数字全息原理 | 第16-17页 |
| ·离轴菲涅尔记录 | 第17-18页 |
| ·离轴菲涅尔再现 | 第18-20页 |
| ·数字全息成像条件分析 | 第20-21页 |
| ·频谱分离条件 | 第20页 |
| ·物光、参考光夹角最大值 | 第20-21页 |
| ·数字全息相位解包裹 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 双波长解包裹方法理论模拟 | 第24-32页 |
| ·双波长解包裹理论分析 | 第24-25页 |
| ·双波长解包裹方法MATLAB 模拟 | 第25-30页 |
| ·倾斜面的模拟仿真 | 第25-27页 |
| ·阶梯形物体结构的仿真 | 第27-29页 |
| ·仿真结果分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第4章 双波长解包裹方法对透射型物体的测量与分析 | 第32-48页 |
| ·实验光路介绍 | 第32-33页 |
| ·主要仪器介绍 | 第33-35页 |
| ·激光器 | 第33-34页 |
| ·CCD 装置 | 第34页 |
| ·PBS 和BS | 第34-35页 |
| ·利用单波长的方法进行解包裹处理 | 第35-38页 |
| ·去除斜面的方法分析 | 第38-39页 |
| ·透射型物体的双波长实验测量 | 第39-47页 |
| ·实验过程分析 | 第39页 |
| ·实验过程分析 | 第39-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 单波长对反射型物体的测量与分析 | 第48-56页 |
| ·实验过程分析 | 第48-52页 |
| ·实验结果分析 | 第52-54页 |
| ·双波长光路用于反射型物体的测量 | 第54页 |
| ·反射型物体的双波长测量光路 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
