芯块几何尺寸、密度综合测量方法研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1．1 课题来源及其重要意义 | 第9-10页 |
| 1．2 国内外现状 | 第10-12页 |
| 1．2．1 芯块几何尺寸测量现状 | 第10-11页 |
| 1．2．2 密度测量现状 | 第11页 |
| 1．2．3 垂直度测量现状 | 第11-12页 |
| 1．3 本章小结 | 第12-13页 |
| 2 芯块测量系统研究 | 第13-29页 |
| 2．1 测量原理 | 第13-14页 |
| 2．1．1 测量原理概述 | 第13-14页 |
| 2．1．2 测量中的定位原理 | 第14页 |
| 2．2 芯块测量系统设计思想 | 第14-19页 |
| 2．2．1 测量对象 | 第14-15页 |
| 2．2．2 被测参数 | 第15-16页 |
| 2．2．3 被测参数技术指标 | 第16-17页 |
| 2．2．4 芯块测量系统设计思想 | 第17页 |
| 2．2．5 芯块测量系统系统框图 | 第17-19页 |
| 2．3 芯块几何参数的测量 | 第19-24页 |
| 2．3．1 芯块直径高度的测量模块 | 第19-20页 |
| 2．3．2 芯块碟形深度的测量模块 | 第20-22页 |
| 2．3．3 芯块倒角尺寸肩宽及碟形宽度的测量模块 | 第22-24页 |
| 2．4 芯块垂直度误差的测量 | 第24-26页 |
| 2．4．1 垂直度测量原理 | 第24页 |
| 2．4．2 芯块的定位 | 第24页 |
| 2．4．3 垂直度测量方案 | 第24-26页 |
| 2．5 芯块质量的测量 | 第26页 |
| 2．6 芯块测量系统的数据采集电路 | 第26-28页 |
| 2．7 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 芯块测量软件系统及其数据库管理 | 第29-45页 |
| 3．1 测量软件系统设计 | 第29-31页 |
| 3．2 测量软件系统的关键技术与算法 | 第31-37页 |
| 3．2．1 多线程技术与并口数据的读取技术 | 第31-33页 |
| 3．2．2 多串口数据的读取技术 | 第33-35页 |
| 3．2．3 数据临时存储机制 | 第35-37页 |
| 3．3 数据库模块 | 第37-44页 |
| 3．3．1 数据库的选取 | 第38-39页 |
| 3．3．2 数据库的设计及其实现 | 第39-41页 |
| 3．3．3 数据库的访问技术 | 第41-44页 |
| 3．4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 测量系统精度分析及实验分析 | 第45-57页 |
| 4．1 测量系统精度分析 | 第45-51页 |
| 4．1．1 概述 | 第45页 |
| 4．1．2 误差源的确定 | 第45-48页 |
| 4．1．3 误差分配及调整 | 第48-51页 |
| 4．2 测量系统实验分析 | 第51-56页 |
| 4．2．1 实验装置 | 第51页 |
| 4．2．2 模拟实验 | 第51-55页 |
| 4．2．3 现场检验 | 第55-56页 |
| 4．3 本章小结 | 第56-57页 |
| 5 全文总结 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 附录 | 第61页 |
