| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-32页 |
| 1.1 课题来源和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 碳基微纳分级结构制备工艺的研究现状 | 第12-20页 |
| 1.3 微超级电容器的研究现状 | 第20-29页 |
| 1.4 本文的研究内容及组织结构 | 第29-32页 |
| 2 基于C-MEMS工艺的碳基微纳分级结构制备及其超级电容特性研究 | 第32-51页 |
| 2.1 引言 | 第32-33页 |
| 2.2 典型的C-MEMS工艺研究 | 第33-37页 |
| 2.3 碳基微纳分级结构的制备工艺研究 | 第37-40页 |
| 2.4 碳基微纳分级结构的表征 | 第40-44页 |
| 2.5 碳基微纳分级结构的电化学性能分析 | 第44-50页 |
| 2.6 本章小结 | 第50-51页 |
| 3 基于氧等离子体刻蚀的碳微纳分级结构制备及其超级电容特性研究 | 第51-69页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 碳微纳分级结构的制备工艺研究 | 第51-60页 |
| 3.3 碳微纳分级结构的表征 | 第60-66页 |
| 3.4 碳微纳分级结构的电化学性能分析 | 第66-68页 |
| 3.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 4 基于表面改性的碳微纳分级结构制备及微超级电容器原型研制 | 第69-96页 |
| 4.1 引言 | 第69-70页 |
| 4.2 微纳分级结构的表面活化工艺研究及结构表征 | 第70-74页 |
| 4.3 微纳分级结构的掺氮工艺研究及结构表征 | 第74-78页 |
| 4.4 微纳分级结构的电化学性能分析及超级电容器原型研制 | 第78-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-96页 |
| 5 总结与展望 | 第96-99页 |
| 5.1 全文总结 | 第96-98页 |
| 5.2 工作展望 | 第98-99页 |
| 致谢 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-117页 |
| 附录一 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第117-119页 |
| 附录二 攻读博士学位期间发表的专利目录 | 第119页 |
