LAZS微晶玻璃/不锈钢阳极键合机理及热应力研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-14页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第14-25页 |
| 1.2.1 微机电封装技术 | 第14-22页 |
| 1.2.2 阳极键合热应力研究现状 | 第22-23页 |
| 1.2.3 微晶玻璃与不锈钢阳极键合研究进展 | 第23-25页 |
| 1.3 研究目的及内容 | 第25-27页 |
| 1.3.1 研究目的 | 第25-26页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第26-27页 |
| 2 LAZS/不锈钢阳极键合热应力模拟分析 | 第27-40页 |
| 2.1 有限元热结构耦合分析理论 | 第27-31页 |
| 2.1.1 数学描述热传导问题 | 第27-30页 |
| 2.1.2 有限元描述热应力热应变分析 | 第30-31页 |
| 2.2 三维有限元模型的建立 | 第31-33页 |
| 2.3 冷却过程中残余应力分析与讨论 | 第33-39页 |
| 2.3.1 不同厚度比对应力分布的影响 | 第33-36页 |
| 2.3.2 不同面积比对应力分布的影响 | 第36-39页 |
| 2.4 小结 | 第39-40页 |
| 3 LAZS微晶玻璃的制备及不锈钢的表面处理 | 第40-52页 |
| 3.1 LAZS微晶玻璃主要原料及实验仪器 | 第40-42页 |
| 3.1.1 微晶玻璃制备原料 | 第40-41页 |
| 3.1.2 实验用主要仪器 | 第41-42页 |
| 3.2 技术路线 | 第42-43页 |
| 3.3 微晶玻璃的制备及性能测试 | 第43-47页 |
| 3.3.1 微晶玻璃的制备 | 第43页 |
| 3.3.2 相关性能测试及分析 | 第43-47页 |
| 3.4 LAZS微晶玻璃与不锈钢表面处理 | 第47-51页 |
| 3.4.1 430 | 第47-49页 |
| 3.4.2 基片的清洗与表面粗糙度影响分析 | 第49-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 LAZS/430 | 第52-62页 |
| 4.1 阳极键合实验 | 第52-53页 |
| 4.1.1 阳极键合实验方法 | 第52-53页 |
| 4.2 键合界面产物及机理分析 | 第53-61页 |
| 4.2.1 键和界面微观组织形貌分析 | 第53-54页 |
| 4.2.2 键合界面的离子迁移分析 | 第54-59页 |
| 4.2.3 界面扩散动力学关系 | 第59-61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 结论与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 结论 | 第62页 |
| 5.2 展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及研究成果 | 第72页 |
