| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 压电泵的分类 | 第11页 |
| 1.3 扩散收缩管无阀压电泵 | 第11-17页 |
| 1.3.1 扩散收缩管无阀压电泵的工作原理 | 第11-12页 |
| 1.3.2 扩散收缩管无阀压电泵的研究背景 | 第12-17页 |
| 1.4 扩散收缩管微泵的研究现状与不足 | 第17-20页 |
| 1.4.1 研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4.2 研究进展分析 | 第19-20页 |
| 1.5 本文研究的主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 无阀压电微泵理论基础 | 第22-32页 |
| 2.1 微流动理论及常用无量纲数 | 第22-24页 |
| 2.1.1 微流动的分类 | 第22-23页 |
| 2.1.2 常用的无量纲数 | 第23-24页 |
| 2.2 转捩点的判断 | 第24-26页 |
| 2.3 共振频率分析 | 第26-28页 |
| 2.4 压力损失系数及锥管效率 | 第28-29页 |
| 2.4.1 压力损失系数 | 第28-29页 |
| 2.4.2 锥管效率 | 第29页 |
| 2.5 净流量分析和微泵效率 | 第29-31页 |
| 2.5.1 净流量分析 | 第29-30页 |
| 2.5.2 微泵效率 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 微泵及微流管的加工与制造 | 第32-40页 |
| 3.1 制作环境 | 第32页 |
| 3.2 薄膜沉积 | 第32-33页 |
| 3.3 掩膜版的制作 | 第33-34页 |
| 3.4 光刻 | 第34-35页 |
| 3.5 刻蚀 | 第35页 |
| 3.6 键合 | 第35-36页 |
| 3.7 硅基微泵与微流管制作流程 | 第36-39页 |
| 3.8 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 平面扩散收缩管无阀压电微泵瞬态特性实验及理论分析 | 第40-61页 |
| 4.0 共振频率分析 | 第40-42页 |
| 4.1 实验装置 | 第42-43页 |
| 4.2 数值模拟 | 第43-47页 |
| 4.2.1 结构参数 | 第43-47页 |
| 4.3 结果与分析 | 第47-59页 |
| 4.3.1 实验结果与讨论 | 第47-49页 |
| 4.3.2 模拟结果与分析 | 第49-59页 |
| 4.4 本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 平面扩散收缩管内部流场数值模拟与实验研究 | 第61-77页 |
| 5.1 锥管效率对微泵效率的影响 | 第61页 |
| 5.2 实验装置 | 第61-63页 |
| 5.3 数值模拟 | 第63-64页 |
| 5.3.1 结构参数 | 第63页 |
| 5.3.2 网格无关化分析及参数设置 | 第63-64页 |
| 5.4 结果与分析 | 第64-75页 |
| 5.4.1 实验结果与讨论 | 第64-65页 |
| 5.4.2 模拟结果与分析 | 第65-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-80页 |
| 6.1 本文工作 | 第77-78页 |
| 6.2 展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读硕士期间发表论文情况 | 第89页 |