超声干式清洗技术的理论研究与应用
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.2 研究的背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.3 超声干式清洗国内外研究现状 | 第13-19页 |
| 1.3.1 传统清洗技术的研究综述 | 第13-15页 |
| 1.3.2 超声干式清洗的研究综述 | 第15-16页 |
| 1.3.3 空腔流激振荡的研究综述 | 第16-17页 |
| 1.3.4 微粒粘附的研究综述 | 第17-19页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第19-21页 |
| 2 超声干式清洗系统及清洗机理 | 第21-32页 |
| 2.1 超声干式清洗系统 | 第21-26页 |
| 2.1.1 空气循环系统 | 第22页 |
| 2.1.2 超声清洗头 | 第22-24页 |
| 2.1.3 基板传送系统 | 第24-26页 |
| 2.2 超声干式清洗机理 | 第26-31页 |
| 2.2.1 空腔流激振荡发声机理 | 第26-29页 |
| 2.2.2 超声干式清洗区的边界层特性 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 超声干式清洗区表面粘附微粒的动力学模型 | 第32-40页 |
| 3.1 表面粘附微粒的受力模型 | 第32-37页 |
| 3.1.1 重力 | 第33页 |
| 3.1.2 粘附力 | 第33-35页 |
| 3.1.3 曳力 | 第35-36页 |
| 3.1.4 举力 | 第36页 |
| 3.1.5 声辐射力 | 第36-37页 |
| 3.2 表面粘附微粒的再悬浮模型 | 第37-39页 |
| 3.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 表面粘附微粒再悬浮的影响因素研究 | 第40-55页 |
| 4.1 控制方程及初始条件 | 第40-42页 |
| 4.2 微粒所受力矩的影响因素分析 | 第42-48页 |
| 4.2.1 重力力矩 | 第42页 |
| 4.2.2 粘附力力矩 | 第42-43页 |
| 4.2.3 曳力力矩 | 第43-44页 |
| 4.2.4 举力力矩 | 第44-45页 |
| 4.2.5 声辐射力力矩 | 第45-48页 |
| 4.3 微粒再悬浮的影响因素分析 | 第48-53页 |
| 4.3.1 微粒半径对微粒再悬浮的影响 | 第48-50页 |
| 4.3.2 气流平均速度对微粒再悬浮的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.3 微粒再悬浮的控制 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 5 变截面空气流道内空腔流激振荡发声的仿真研究 | 第55-80页 |
| 5.1 控制方程 | 第55-56页 |
| 5.1.1 大涡模拟（LES）方程 | 第55页 |
| 5.1.2 声比拟（FW-H）方程 | 第55-56页 |
| 5.2 计算模型和边界条件 | 第56-58页 |
| 5.3 空腔流激振荡流场与声场特性 | 第58-68页 |
| 5.3.1 空腔流激振荡的流线型 | 第58页 |
| 5.3.2 空腔流激振荡的速度和压强分布 | 第58-60页 |
| 5.3.3 变截面空气流道出口的气流速度 | 第60-61页 |
| 5.3.4 空腔流激振荡的声学特性 | 第61-65页 |
| 5.3.5 空腔流激振荡的瞬时涡量 | 第65-68页 |
| 5.4 流道出口气流速度的影响因素分析 | 第68-72页 |
| 5.4.1 入口气流速度对出口气流速度的影响 | 第69-70页 |
| 5.4.2 空腔长深比对出口气流速度的影响 | 第70-71页 |
| 5.4.3 空腔组数对出口气流速度的影响 | 第71页 |
| 5.4.4 空腔腔形对出口气流速度的影响 | 第71-72页 |
| 5.5 空腔流激振荡声学特性的影响因素分析 | 第72-77页 |
| 5.5.1 入口气流速度对腔内声学特性的影响 | 第72-73页 |
| 5.5.2 空腔长深比对腔内声学特性的影响 | 第73-75页 |
| 5.5.3 空腔组数对腔内声学特性的影响 | 第75-76页 |
| 5.5.4 空腔腔形对腔内声学特性的影响 | 第76-77页 |
| 5.6 本章小结 | 第77-80页 |
| 6 结论与展望 | 第80-83页 |
| 6.1 结论 | 第80-81页 |
| 6.2 展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
