多铁纳米MEMS传感器性能测试系统设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-12页 |
| 1.1.1 多铁材料 | 第9-10页 |
| 1.1.2 多铁纳米MEMS传感器 | 第10页 |
| 1.1.3 微传感器测试技术 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第12-16页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第14-16页 |
| 1.3 主要研究内容及课题意义 | 第16-17页 |
| 第二章 多铁纳米MEMS传感器测试方案设计 | 第17-27页 |
| 2.1 多铁纳米MEMS器件特性 | 第17-18页 |
| 2.1.1 多铁MEMS器件的铁电特性和压电特性 | 第17页 |
| 2.1.2 多铁MEMS器件的磁电效应 | 第17-18页 |
| 2.2 多铁纳米MEMS传感器的原理及结构设计 | 第18-24页 |
| 2.2.1 结构参数选择与计算 | 第19-21页 |
| 2.2.2 弹性薄膜力学模型 | 第21-23页 |
| 2.2.3 多铁纳米MEMS传感器的封装 | 第23-24页 |
| 2.3 测试系统总体方案设计 | 第24-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 传感器测试装置结构设计 | 第27-38页 |
| 3.1 测试装置机械结构设计 | 第27-30页 |
| 3.2 待测传感器安装与固定 | 第30-31页 |
| 3.3 加热装置设计 | 第31-33页 |
| 3.3.1 加热器件选择 | 第31-32页 |
| 3.3.2 加热装置安装 | 第32-33页 |
| 3.4 磁场的设置与安装 | 第33-35页 |
| 3.4.1 磁场生成装置设计 | 第33-34页 |
| 3.4.2 磁场强度计算 | 第34-35页 |
| 3.5 气压控制回路设计 | 第35-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-38页 |
| 第四章 控制系统软硬件设计 | 第38-49页 |
| 4.1 控制系统硬件部分设计 | 第38-42页 |
| 4.1.1 MCU及外围电路 | 第39-40页 |
| 4.1.2 信号放大电路 | 第40页 |
| 4.1.3 A/D转换电路 | 第40-41页 |
| 4.1.4 EEPROM | 第41-42页 |
| 4.1.5 通信接口电路 | 第42页 |
| 4.1.6 低通滤波模块 | 第42页 |
| 4.2 控制系统软件设计 | 第42-47页 |
| 4.2.1 主控芯片程序设计 | 第43-44页 |
| 4.2.2 上位机显示界面程序设计 | 第44-47页 |
| 4.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 多铁纳米MEMS传感器的测试实验研究 | 第49-62页 |
| 5.1 测试平台的搭建 | 第49-50页 |
| 5.2 测试装置功能验证 | 第50-55页 |
| 5.2.1 标准薄膜压力传感器测试 | 第50-51页 |
| 5.2.2 标准薄膜压力传感器测试数据分析 | 第51-55页 |
| 5.3 多铁纳米MEMS压力传感器的测试 | 第55-58页 |
| 5.4 数据处理与分析 | 第58-61页 |
| 5.4.1 不同温度值下输出对比分析 | 第58-60页 |
| 5.4.2 不同磁场值下输出对比分析 | 第60-61页 |
| 5.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论和展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
