| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 ΣΔ微加速度计研究现状 | 第15-26页 |
| 1.2.1 微加速度计敏感结构研究现状 | 第15-19页 |
| 1.2.2 微加速度计接口电路研究现状 | 第19-26页 |
| 1.3 ΣΔ微加速度计接口电路的关键问题研究现状分析 | 第26-28页 |
| 1.3.1 ΣΔ微加速度计噪声理论及实验验证 | 第26-27页 |
| 1.3.2 ΣΔ微加速度计谐波失真理论和测试方法 | 第27-28页 |
| 1.3.3 高精度数字微加速度计接口电路的实现 | 第28页 |
| 1.4 研究的目的和意义 | 第28-29页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第29-30页 |
| 第2章 ΣΔ微加速度计系统级研究 | 第30-46页 |
| 2.1 引言 | 第30页 |
| 2.2 微加速度计敏感结构等效模型 | 第30-32页 |
| 2.3 微弱电容检测方法 | 第32-34页 |
| 2.4 ΣΔ微加速度计结构概述 | 第34-36页 |
| 2.4.1 ΣΔ调制技术 | 第34-35页 |
| 2.4.2 ΣΔ微加速度计基本结构 | 第35-36页 |
| 2.5 ΣΔ微加速度计系统设计 | 第36-43页 |
| 2.5.1 ΣΔ微加速度计拓扑结构 | 第37-39页 |
| 2.5.2 行为级建模和分析 | 第39-42页 |
| 2.5.3 ΣΔ微加速度计自检测技术 | 第42-43页 |
| 2.6 ΣΔ微加速度计系统稳定性研究 | 第43-44页 |
| 2.7 本章小结 | 第44-46页 |
| 第3章 ΣΔ微加速度计噪声理论研究和实验验证 | 第46-59页 |
| 3.1 引言 | 第46页 |
| 3.2 微加速度计机械噪声 | 第46页 |
| 3.3 ΣΔ微加速度计接口电路噪声 | 第46-52页 |
| 3.3.1 运放噪声 | 第48-50页 |
| 3.3.2 开关噪声 | 第50-51页 |
| 3.3.3 参考电压噪声 | 第51-52页 |
| 3.3.4 连线电阻噪声 | 第52页 |
| 3.4 量化噪声 | 第52-53页 |
| 3.5 质量块残留运动噪声 | 第53页 |
| 3.6 噪声计算和分析 | 第53-54页 |
| 3.7 电荷放大器中运放带宽的设计 | 第54-55页 |
| 3.8 ΣΔ微加速度计噪声模型实验验证 | 第55-58页 |
| 3.9 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 ΣΔ微加速度计谐波失真理论研究和实验验证 | 第59-78页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 ΣΔ微加速度计主要的非线性来源 | 第59-68页 |
| 4.2.1 非线性位移到电压转换 | 第60-66页 |
| 4.2.2 ΣΔ微加速度计非线性静电力反馈 | 第66-68页 |
| 4.3 自检测信号到等效输入加速度的变换 | 第68-71页 |
| 4.4 ΣΔ微加速度计谐波失真理论的实验验证 | 第71-77页 |
| 4.4.1 仿真验证 | 第71-73页 |
| 4.4.2 测试验证 | 第73-77页 |
| 4.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第5章 ΣΔ微加速度计接口ASIC设计与实现 | 第78-108页 |
| 5.1 引言 | 第78页 |
| 5.2 ΣΔ微加速度计接口电路工作原理 | 第78-92页 |
| 5.2.1 敏感结构电学模型 | 第79-80页 |
| 5.2.2 差分电容检测原理 | 第80-82页 |
| 5.2.3 前级敏感电路工作原理 | 第82-85页 |
| 5.2.4 相位补偿电路 | 第85-86页 |
| 5.2.5 调制器电路 | 第86-87页 |
| 5.2.6 主要的模块电路 | 第87-92页 |
| 5.3 整体电路仿真 | 第92-94页 |
| 5.4 版图设计和后仿真 | 第94-97页 |
| 5.5 ΣΔ微加速度计接口ASIC芯片测试与分析 | 第97-107页 |
| 5.6 本章小结 | 第107-108页 |
| 结论 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-120页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第120-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 个人简历 | 第124页 |