| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 微加速度计中电容的检测方法 | 第11-12页 |
| 1.3 数字Sigma Delta微机电加速度计接口电路的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本文的创新及主要工作 | 第14-15页 |
| 1.5 本文的结构 | 第15-16页 |
| 1.6 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 加速度计电容检测电路设计基础 | 第17-30页 |
| 2.1 加速度计电容检测及静电力反馈 | 第17-24页 |
| 2.1.1 敏感结构数学模型及信号检测方法 | 第17-20页 |
| 2.1.2 敏感结构的静电力反馈 | 第20-22页 |
| 2.1.3 敏感结构的离散化分析 | 第22-24页 |
| 2.2 Sigma Delta调制器的基本原理 | 第24-29页 |
| 2.2.1 量化噪声模型 | 第24-26页 |
| 2.2.2 过采样 | 第26-27页 |
| 2.2.3 噪声整形 | 第27-29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 系统方案设计 | 第30-45页 |
| 3.1 电荷Sigma Delta调制器 | 第30-35页 |
| 3.1.1 电荷Sigma Delta调制器的原理 | 第30-33页 |
| 3.1.2 直接式电荷传输加法器 | 第33-35页 |
| 3.2 开环数字加速度计电容检测电路 | 第35-39页 |
| 3.2.1 开环电容检测电路结构 | 第35-37页 |
| 3.2.2 噪声传递函推导及参数设计 | 第37页 |
| 3.2.3 Simulink建模 | 第37-39页 |
| 3.3 闭环数字加速度计电容检测电路的设计 | 第39-44页 |
| 3.3.1 闭环电容检测电路结构 | 第39-41页 |
| 3.3.2 噪声传递函数推导及参数设计 | 第41-42页 |
| 3.3.3 Simulink建模 | 第42-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 系统模块实现 | 第45-67页 |
| 4.1 积分器的设计 | 第45-53页 |
| 4.1.1 采样开关电容的等效热噪声 | 第46-47页 |
| 4.1.2 运放噪声 | 第47-48页 |
| 4.1.3 开关电容积分器的噪声分析 | 第48-49页 |
| 4.1.4 SC积分器中的非理想因素 | 第49-53页 |
| 4.2 运算放大器 | 第53-59页 |
| 4.2.1 第一级SC积分器中的OTA | 第53-55页 |
| 4.2.2 第二级SC积分器中的OTA | 第55-56页 |
| 4.2.3 运放的仿真结果 | 第56-59页 |
| 4.3 比较器 | 第59-61页 |
| 4.4 开关 | 第61-63页 |
| 4.5 非重叠时钟的产生电路 | 第63-64页 |
| 4.6 求和电路 | 第64-65页 |
| 4.7 系统的版图设计 | 第65-66页 |
| 4.8 本章总结 | 第66-67页 |
| 第五章 系统整体仿真结果 | 第67-71页 |
| 5.1 系统仿真结果 | 第67-70页 |
| 5.2 本章小结 | 第70-71页 |
| 第六章 总结及展望 | 第71-73页 |
| 6.1 工作总结 | 第71-72页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第78页 |