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用于数字加速度计电容检测电路的研究与设计

摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 引言第10-11页
    1.2 微加速度计中电容的检测方法第11-12页
    1.3 数字Sigma Delta微机电加速度计接口电路的研究现状第12-14页
    1.4 本文的创新及主要工作第14-15页
    1.5 本文的结构第15-16页
    1.6 本章小结第16-17页
第二章 加速度计电容检测电路设计基础第17-30页
    2.1 加速度计电容检测及静电力反馈第17-24页
        2.1.1 敏感结构数学模型及信号检测方法第17-20页
        2.1.2 敏感结构的静电力反馈第20-22页
        2.1.3 敏感结构的离散化分析第22-24页
    2.2 Sigma Delta调制器的基本原理第24-29页
        2.2.1 量化噪声模型第24-26页
        2.2.2 过采样第26-27页
        2.2.3 噪声整形第27-29页
    2.3 本章小结第29-30页
第三章 系统方案设计第30-45页
    3.1 电荷Sigma Delta调制器第30-35页
        3.1.1 电荷Sigma Delta调制器的原理第30-33页
        3.1.2 直接式电荷传输加法器第33-35页
    3.2 开环数字加速度计电容检测电路第35-39页
        3.2.1 开环电容检测电路结构第35-37页
        3.2.2 噪声传递函推导及参数设计第37页
        3.2.3 Simulink建模第37-39页
    3.3 闭环数字加速度计电容检测电路的设计第39-44页
        3.3.1 闭环电容检测电路结构第39-41页
        3.3.2 噪声传递函数推导及参数设计第41-42页
        3.3.3 Simulink建模第42-44页
    3.5 本章小结第44-45页
第四章 系统模块实现第45-67页
    4.1 积分器的设计第45-53页
        4.1.1 采样开关电容的等效热噪声第46-47页
        4.1.2 运放噪声第47-48页
        4.1.3 开关电容积分器的噪声分析第48-49页
        4.1.4 SC积分器中的非理想因素第49-53页
    4.2 运算放大器第53-59页
        4.2.1 第一级SC积分器中的OTA第53-55页
        4.2.2 第二级SC积分器中的OTA第55-56页
        4.2.3 运放的仿真结果第56-59页
    4.3 比较器第59-61页
    4.4 开关第61-63页
    4.5 非重叠时钟的产生电路第63-64页
    4.6 求和电路第64-65页
    4.7 系统的版图设计第65-66页
    4.8 本章总结第66-67页
第五章 系统整体仿真结果第67-71页
    5.1 系统仿真结果第67-70页
    5.2 本章小结第70-71页
第六章 总结及展望第71-73页
    6.1 工作总结第71-72页
    6.2 未来工作展望第72-73页
致谢第73-74页
参考文献第74-78页
攻硕期间取得的研究成果第78页

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