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液态铜上快速化学气相沉积高质量石墨烯

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-30页
    1.1 石墨烯的发现第10-11页
    1.2 石墨烯的基本机构和独特性质第11-14页
        1.2.1 石墨烯的基本结构第11页
        1.2.2 石墨烯的电学性质第11-13页
        1.2.3 石墨烯的光学特性第13页
        1.2.4 石墨烯的热学和力学特性第13-14页
    1.3 石墨烯的制备方法第14-17页
        1.3.1 机械剥离法第14-15页
        1.3.2 化学气相沉积法CVD第15页
        1.3.3 碳化硅(SiC)外延生长法第15-16页
        1.3.4 化学氧化还原法第16-17页
    1.4 石墨烯的表征方法第17-22页
        1.4.1 光学显微镜第17-19页
        1.4.2 扫描电子显微镜SEM第19页
        1.4.3 透射电子显微镜TEM第19-20页
        1.4.4 拉曼光谱第20-21页
        1.4.5 场效应器件和霍尔器件第21-22页
    1.5 石墨烯的应用第22-27页
        1.5.1 石墨烯场效应器件第22-23页
        1.5.2 石墨烯透明电极第23-25页
        1.5.3 石墨烯探测器第25-26页
        1.5.4 石墨烯太阳能电池第26-27页
    1.6 本文的主要研究内容和创新点第27-30页
第2章液态铜上石墨烯的制备原理和转移第30-38页
    2.1 化学气相沉积石墨烯的原理第30-31页
    2.2 液态铜上化学气相沉积石墨烯的原理与优点第31-33页
    2.3 冷壁垂直式化学气相沉积系统第33-34页
    2.4 石墨烯的转移第34-37页
        2.4.1 铜箔上石墨烯的转移方法第34-37页
        2.4.2 液态铜上石墨烯的转移方法第37页
    2.5 本章小结第37-38页
第3章 液态铜上快速化学气相沉积石墨烯及表征第38-50页
    3.1 石墨烯生长前铜箔和钨箔的处理第38-39页
    3.2 快速化学气相沉积石墨烯的具体步骤第39-41页
        3.2.1 铜箔上快速制备石墨烯步骤第39页
        3.2.2 液态铜快速制备石墨烯步骤第39-41页
    3.3 石墨烯的表征第41-48页
        3.3.1 液态铜上生长石墨烯的光学显微镜图片分析第41-46页
        3.3.2 液态铜上生长石墨烯的扫描电镜图片分析第46页
        3.3.3 液态铜上石墨烯的拉曼光谱图分析第46-47页
        3.3.4 液态铜与铜箔上生长的石墨烯相比较第47-48页
    3.4 本章小结第48-50页
第4章 背栅石墨烯场效应管的制备与测试分析第50-58页
    4.1 背栅石墨烯场效应管的制备第50-52页
    4.2 背栅石墨烯场效应管的测试与分析第52-56页
    4.3 本章小结第56-58页
结论第58-60页
参考文献第60-66页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第66-68页
致谢第68页

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