| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第13-15页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第14-15页 |
| 1.2 镀膜夹具与基底的仿真分析的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.1 镀膜夹具的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.2.2 夹具与基底的仿真分析的研究现状 | 第17页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.4 本文的主要创新点 | 第18-19页 |
| 第二章 Φ208多光谱ZnS镀膜简介及镀膜传热学理论概述 | 第19-31页 |
| 2.1 Φ208多光谱ZnS镀膜简介 | 第19-22页 |
| 2.1.1 Φ208多光谱ZnS参数 | 第19-20页 |
| 2.1.2 等离子辅助沉积 | 第20-21页 |
| 2.1.3 电子束加热蒸发 | 第21-22页 |
| 2.2 固体断裂力学 | 第22-24页 |
| 2.2.1 结构中的裂纹 | 第22-23页 |
| 2.2.2 裂纹的类型 | 第23页 |
| 2.2.3 两种基本断裂机理 | 第23-24页 |
| 2.3 热应力 | 第24-26页 |
| 2.3.1 热膨胀 | 第24-25页 |
| 2.3.2 热作用产生的内应力的根本原因 | 第25页 |
| 2.3.3 热应力的去除和调整 | 第25-26页 |
| 2.4 镀膜传热学理论基础 | 第26-30页 |
| 2.4.1 热传导 | 第26-28页 |
| 2.4.2 热对流 | 第28页 |
| 2.4.3 热辐射 | 第28-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 镀膜夹具典型配置方式、结构及材料的选择 | 第31-57页 |
| 3.1 镀膜夹具典型配置方式的分析与选择 | 第31-44页 |
| 3.1.1 平面型配置方式的分析 | 第32-34页 |
| 3.1.2 球面型配置方式的分析 | 第34-36页 |
| 3.1.3 旋转平面型配置方式的分析 | 第36-38页 |
| 3.1.4 旋转球面型配置方式的分析 | 第38页 |
| 3.1.5 行星型配置方式的分析 | 第38-43页 |
| 3.1.6 镀膜夹具典型配置方式的选择 | 第43-44页 |
| 3.2 镀膜夹具结构的分析与选择 | 第44-47页 |
| 3.2.1 下沉式镀膜夹具的分析 | 第44页 |
| 3.2.2 担边式镀膜夹具的分析 | 第44-45页 |
| 3.2.3 倒角支承式镀膜夹具的分析 | 第45-46页 |
| 3.2.4 通用反吊式镀膜夹具的分析 | 第46页 |
| 3.2.5 镀膜夹具结构的选择 | 第46-47页 |
| 3.3 镀膜夹具材料 | 第47-54页 |
| 3.3.1 铝合金镀膜夹具材料 | 第47-48页 |
| 3.3.2 铜合金镀膜夹具材料 | 第48-49页 |
| 3.3.3 不锈钢镀膜夹具材料 | 第49页 |
| 3.3.4 低膨胀合金镀膜夹具材料 | 第49-50页 |
| 3.3.5 钛合金镀膜夹具材料 | 第50-51页 |
| 3.3.6 陶瓷镀膜夹具材料 | 第51-52页 |
| 3.3.7镀膜夹具材料的选择 | 第52-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-57页 |
| 第四章 Φ208多光谱ZnS镀膜过程有限元模拟仿真 | 第57-71页 |
| 4.1 ANSYS软件简介 | 第57-58页 |
| 4.1.1 顺序耦合法 | 第57-58页 |
| 4.1.2 直接耦合法 | 第58页 |
| 4.2 Φ208多光谱ZnS及镀膜夹具仿真分析前处理 | 第58-62页 |
| 4.2.1 Φ208多光谱ZnS及镀膜夹具几何模型的建立 | 第58-59页 |
| 4.2.2 Φ208多光谱ZnS及镀膜夹具有限元模型建立 | 第59-60页 |
| 4.2.3 Φ208多光谱ZnS及镀膜夹具材料的性能参数 | 第60-61页 |
| 4.2.4 边界条件及初始条件的设定 | 第61-62页 |
| 4.3 Φ208多光谱ZnS及镀膜夹具仿真分析 | 第62-70页 |
| 4.3.1 下沉式镀膜夹具热结构仿真分析 | 第62-64页 |
| 4.3.2 担边式镀膜夹具热结构仿真分析 | 第64-66页 |
| 4.3.3 通用反吊式镀膜夹具热结构仿真分析 | 第66-68页 |
| 4.3.4 镀膜夹具热结构仿真结果对比分析 | 第68-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 镀膜夹具的改进及实验研究 | 第71-89页 |
| 5.1 ZnS有效口径改进 | 第71-72页 |
| 5.1.1 ZnS有效口径定义 | 第71页 |
| 5.1.2 镀膜夹具第一次改进措施 | 第71-72页 |
| 5.2 膜层均匀性改进 | 第72-77页 |
| 5.2.1 聚乙烯材料特性 | 第72-73页 |
| 5.2.2 聚四氟乙烯材料特性 | 第73-74页 |
| 5.2.3 聚四氟乙烯数目的确定 | 第74-75页 |
| 5.2.4 镀膜夹具第二次改进措施 | 第75-77页 |
| 5.3 镀膜夹具改进后的实验研究 | 第77-82页 |
| 5.3.1 镀前准备 | 第77-81页 |
| 5.3.2 膜系的制备 | 第81-82页 |
| 5.4 镀膜夹具改进镀膜后的膜层性能测试及分析 | 第82-87页 |
| 5.4.1 透过率与反射率 | 第82-83页 |
| 5.4.2 ZnS基底透过率与反射率测试 | 第83-84页 |
| 5.4.3 ZnS基底透过率与反射率的分析 | 第84-85页 |
| 5.4.4 ZnS基底膜层表面微观测试与分析 | 第85-86页 |
| 5.4.5 ZnS基底膜层的环境测试与分析 | 第86-87页 |
| 5.5 本章小结 | 第87-89页 |
| 第六章 结论与展望 | 第89-91页 |
| 6.1 结论 | 第89-90页 |
| 6.2 展望 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-99页 |
| 附录A 攻读硕士学位期间发表的论文、专利 | 第99-101页 |
| 附录B 三种镀膜夹具材料特性参数 | 第101-103页 |
| 附录C GJB 2485-95光学膜层通用规范 | 第103-107页 |
