| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 单晶金刚石结构特点与应用 | 第10-12页 |
| 1.1.1 单晶金刚石的结构与性质 | 第10页 |
| 1.1.2 单晶金刚石的应用 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 单晶金刚石加工研究现状 | 第12-15页 |
| 1.2.2 单晶金刚石材料去除主要机理 | 第15-16页 |
| 1.2.3 目前加工方式存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.3 课题研究意义与主要内容 | 第17-18页 |
| 第2章 实验内容与实验条件 | 第18-30页 |
| 2.1 SG抛光膜的制备 | 第18-20页 |
| 2.1.1 SG抛光膜的简介 | 第18页 |
| 2.1.2 SG抛光膜制备流程 | 第18-20页 |
| 2.2 SG抛光膜加工单晶金刚石工艺研究 | 第20-26页 |
| 2.2.1 实验材料与实验装置 | 第20-22页 |
| 2.2.2 强氧化剂选定与强氧化膜配制 | 第22-24页 |
| 2.2.3 加工参数的探索与选定 | 第24-25页 |
| 2.2.4 实验结果评价 | 第25-26页 |
| 2.3 SG抛光膜加工单晶金刚石材料去除机理研究 | 第26-28页 |
| 2.3.1 金刚石材料去除机理实验 | 第26页 |
| 2.3.2 不同晶面加工机理的实验评价 | 第26-28页 |
| 2.4 SG抛光膜反应抛光单晶金刚石实验研究 | 第28-30页 |
| 2.4.1 反应抛光实验设计 | 第28页 |
| 2.4.2 反应抛光实验平台 | 第28页 |
| 2.4.3 不同加工方式的加工特性实验分析 | 第28-30页 |
| 第3章 SG抛光膜加工单晶金刚石的实验工艺研究 | 第30-38页 |
| 3.1 (100)晶面加工工艺探索 | 第30-33页 |
| 3.1.1 磨粒粒径对表面质量影响 | 第30-31页 |
| 3.1.2 加工压力对表面质量影响 | 第31-32页 |
| 3.1.3 加工工艺的改进 | 第32-33页 |
| 3.2 (111)晶面加工工艺探索 | 第33-37页 |
| 3.2.1 加工压力的选择 | 第33-34页 |
| 3.2.2 加工时间对表面质量的影响 | 第34-35页 |
| 3.2.3 磨粒粒径对表面质量的影响 | 第35-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 单晶金刚石材料去除机理各向异性的研究 | 第38-50页 |
| 4.1 (100)晶面机械抛光材料去除机理实验探究 | 第38-43页 |
| 4.1.1 表面质量分析 | 第38-39页 |
| 4.1.2 表面材料拉曼光谱检测分析 | 第39-41页 |
| 4.1.3 抛光废液成分TEM检测分析 | 第41-43页 |
| 4.2 (111)晶面机械抛光材料去除机理实验探究 | 第43-48页 |
| 4.2.1 表面质量分析 | 第43-44页 |
| 4.2.2 表面材料拉曼光谱检测分析 | 第44-45页 |
| 4.2.3 抛光废液成分TEM检测分析 | 第45-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 SG抛光膜反应抛光单晶金刚石的实验研究 | 第50-66页 |
| 5.1 SG抛光膜机械抛光单晶金刚石 | 第50-53页 |
| 5.1.1 表面质量分析 | 第50-51页 |
| 5.1.2 表面材料生成物检测分析 | 第51-52页 |
| 5.1.3 抛光废液成分检测分析 | 第52-53页 |
| 5.2 SG抛光膜机械化学抛光单晶金刚石 | 第53-58页 |
| 5.2.1 表面质量分析 | 第53-55页 |
| 5.2.2 表面材料生成物检测分析 | 第55-56页 |
| 5.2.3 抛光废液成分检测分析 | 第56-58页 |
| 5.3 SG抛光膜化学机械抛光单晶金刚石 | 第58-60页 |
| 5.3.1 表面质量分析 | 第58-59页 |
| 5.3.2 表面材料生成物检测分析 | 第59-60页 |
| 5.4 单晶金刚石材料去除作用机制及过程分析 | 第60-63页 |
| 5.4.1 金刚石划痕成因分析 | 第60-62页 |
| 5.4.2 金刚石不同加工方式的加工效率比较 | 第62页 |
| 5.4.3 金刚石表面微观形貌观察分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-66页 |
| 第6章 单晶金刚石反应抛光亚表面损伤研究 | 第66-74页 |
| 6.1 不同加工方式下金刚石的亚表面损伤 | 第66-73页 |
| 6.1.1 金刚石亚表面损伤观察制样 | 第66-67页 |
| 6.1.2 机械抛光亚表面损伤观察分析 | 第67-68页 |
| 6.1.3 机械化学抛光亚表面损伤观察分析 | 第68-70页 |
| 6.1.4 化学机械抛光亚表面损伤观察分析 | 第70-73页 |
| 6.2 本章小结 | 第73-74页 |
| 第7章 结论与展望 | 第74-76页 |
| 7.1 结论 | 第74-75页 |
| 7.2 展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第82页 |