靶材粘结和超声波检测技术在液晶镀膜中的应用
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·前言 | 第8页 |
| ·液晶溅射镀膜用材料——靶材 | 第8-12页 |
| ·靶材的种类与应用 | 第8-9页 |
| ·溅射靶材的制备 | 第9-12页 |
| ·平面显示镀膜 | 第12页 |
| ·靶材粘结 | 第12页 |
| ·国内外液晶产业现状 | 第12-13页 |
| ·本课题研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 靶材粘结工艺试验 | 第14-31页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·粘结原料 | 第15-16页 |
| ·粘结设备 | 第16页 |
| ·靶材粘结工艺流程 | 第16-29页 |
| ·粘结设备及相关参数选择 | 第18-23页 |
| ·自动粘结过程重要参数设置 | 第23-25页 |
| ·靶材粘结过程图示 | 第25-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 靶材平面度修正 | 第31-40页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·粘结完成后平面度数据测定及分析 | 第31-33页 |
| ·靶材平面度修正 | 第33-37页 |
| ·准备工作 | 第33页 |
| ·靶材平面度修正过程 | 第33-37页 |
| ·修正完成后平面度数据测定及分析 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 靶材超声波检测 | 第40-51页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·超声波的音波特性 | 第40-42页 |
| ·靶材内部缺陷 | 第42-43页 |
| ·超声波检测工艺 | 第43-50页 |
| ·超声波检测设备 | 第43-44页 |
| ·工作原理 | 第44-45页 |
| ·重要参数设置 | 第45-47页 |
| ·超声波检测结果分析 | 第47-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 结论与展望 | 第51-53页 |
| ·全文总结 | 第51-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 攻读学位期间本人出版或公开发表的论著、论文 | 第56-57页 |
| 附录 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
