| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 热膜式气体流量传感器国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.3 选题依据及主要研究内容 | 第16-18页 |
| 1.3.1 选题依据 | 第16-17页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 热膜式气体流量传感器工作原理 | 第18-25页 |
| 2.1 测量原理 | 第18-20页 |
| 2.2 热膜式气体流量传感器种类 | 第20-22页 |
| 2.3 测量方式 | 第22-25页 |
| 2.3.1 通过加热电阻测量气体流量 | 第22-23页 |
| 2.3.2 热分布式通过测温电阻 | 第23-25页 |
| 第三章 热膜式气体流量传感器的仿真 | 第25-40页 |
| 3.1 传感器结构 | 第25-30页 |
| 3.1.1 传感器绝热层 | 第25-27页 |
| 3.1.2 金属薄膜电阻 | 第27-30页 |
| 3.2 传感器结构仿真 | 第30-38页 |
| 3.2.1 传感器衬底导热仿真 | 第31-33页 |
| 3.2.2 测温电阻的分布仿真 | 第33-38页 |
| 3.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 热膜式气体流量传感器的制备与表征 | 第40-61页 |
| 4.1 Pt薄膜沉积工艺研究 | 第40-43页 |
| 4.2 基于硅衬底的热膜式气体流量传感器制备 | 第43-52页 |
| 4.2.1 基于硅衬底的热膜式气体流量传感器制备过程 | 第44-51页 |
| 4.2.2 基于PI衬底的传感器制备 | 第51-52页 |
| 4.3 热膜式气体流量传感器的测试 | 第52-59页 |
| 4.3.1 测试环境搭建 | 第53-54页 |
| 4.3.2 测试电路 | 第54-56页 |
| 4.3.3 测试结果与讨论 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小节 | 第59-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 主要结论 | 第61-62页 |
| 5.2 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第68-69页 |