| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 综述 | 第9-21页 |
| 1.1 论文的研究背景与意义 | 第9页 |
| 1.2 激光波长测量方法研究现状 | 第9-19页 |
| 1.2.1 激光波长间接测量方法 | 第9-15页 |
| 1.2.2 激光波长直接测量方法 | 第15-19页 |
| 1.3 论文的研究内容与组织结构 | 第19-21页 |
| 第二章 基于单频正交线偏振光的激光波长测量系统设计 | 第21-29页 |
| 2.1 基于单频正交线偏振光的激光波长测量原理 | 第21-24页 |
| 2.2 系统总体方案设计与关键技术 | 第24-28页 |
| 2.2.1 主要光学元件选择 | 第25-27页 |
| 2.2.2 关键技术 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 激光波长测量系统信号处理方法 | 第29-47页 |
| 3.1 信号处理总体方案设计 | 第29页 |
| 3.2 干涉信号整体信号处理方法 | 第29-42页 |
| 3.2.1 干涉信号预处理电路 | 第30页 |
| 3.2.2 干涉信号的数字滤波处理 | 第30-32页 |
| 3.2.3 干涉信号的整周期计数 | 第32-36页 |
| 3.2.4 干涉信号小数计数 | 第36-39页 |
| 3.2.5 参考镜移动方向判断 | 第39-40页 |
| 3.2.6 整周期计数值与小数计数值整合 | 第40-42页 |
| 3.3 系统软件设计 | 第42-45页 |
| 3.3.1 波长测量软件设计 | 第42-43页 |
| 3.3.2 上位机软件设计 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 实验与误差分析 | 第47-68页 |
| 4.1 测量系统实验装置构建 | 第47页 |
| 4.2 干涉信号检测实验 | 第47-52页 |
| 4.2.1 相位差检测及补偿实验 | 第48-50页 |
| 4.2.2 整周期计数及与小数计数进行整合实验 | 第50-52页 |
| 4.3 系统稳定性实验 | 第52-53页 |
| 4.4 激光波长测量实验 | 第53-65页 |
| 4.4.1 测量镜运动不同距离对波长测量精度影响实验 | 第53-62页 |
| 4.4.2 激光器波长测量应用实验 | 第62-65页 |
| 4.5 误差分析 | 第65-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 论文总结 | 第68-69页 |
| 5.1.1 主要创新点 | 第68页 |
| 5.1.2 完成的具体工作 | 第68-69页 |
| 5.2 论文展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 硕士期间的研究成果 | 第74页 |