基于EDG的InP单片集成光信号收发器件的研究

致谢	第1-5页
摘要	第5-6页
Abstract	第6-7页
目录	第7-8页
1、绪论	第8-15页
·光纤到户中的单纤双/三向收发器	第8-13页
·波长可调谐/切换激光器	第13-15页
2、EDG原理	第15-25页
·EDG研究背景	第15-16页
·EDG像差理论	第16-19页
·阶梯光栅设计的一点法和两点法	第19-22页
·阶梯光栅的数值模拟方法	第22-25页
3、EDG应用—单纤双向/三向收发器设计	第25-36页
·背景技术	第25-28页
·设计方案	第28-36页
·概要	第28-29页
·2X2耦合器设计	第29-34页
·EDG波长解复用模块设计	第34-36页
4 E D G应用——波长可调谐彻换激光器	第36-45页
·已有技术方案—MAGIC laser	第36-39页
·改进型MAGIC laser设计方案	第39-45页
·多波长激光器谐振腔结构和理论分析	第39-41页
·多波长合波器及多功能集成	第41-45页
5 E D G制作工艺	第45-59页
·光刻	第46-52页
·光刻基本原理	第46-48页
·光刻具体操作	第48-52页
·刻蚀	第52-57页
·刻蚀基板原理	第52-53页
·刻蚀具体操作	第53-57页
·反射面镀金	第57-59页
总结与展望	第59-61页
作者简介	第61页
成果附录	第61-62页
参考文献	第62-64页