离子交换法制备Cu离子玻璃光波导的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-27页 |
| ·引言 | 第12-15页 |
| ·集成光学的理论与应用 | 第15-16页 |
| ·集成光学的材料与工艺 | 第16页 |
| ·集成光学的光集成方式 | 第16-17页 |
| ·玻璃基集成光学器件 | 第17-21页 |
| ·玻璃基光波导器件的特点及发展状况 | 第17-18页 |
| ·Cu~+/Na~+离子交换的特点及研究现状 | 第18-20页 |
| ·本论文的创新点及研究意义 | 第20-21页 |
| ·本论文的主要内容 | 第21-23页 |
| 参考文献 | 第23-27页 |
| 第二章 玻璃基离子交换技术 | 第27-45页 |
| ·离子交换技术原理 | 第27-35页 |
| ·离子交换技术介绍 | 第27-28页 |
| ·离子交换驱动机制 | 第28-30页 |
| ·离子交换技术的特点和分类 | 第30-34页 |
| ·折射率改变的机理 | 第34-35页 |
| ·离子交换理论模型 | 第35-39页 |
| ·熔盐离子交换技术工艺 | 第39-43页 |
| ·基片的清洗 | 第39-40页 |
| ·铝膜的淀积 | 第40页 |
| ·光刻 | 第40-41页 |
| ·腐蚀和去胶 | 第41页 |
| ·热扩散离子交换 | 第41-42页 |
| ·电场辅助掩埋工艺 | 第42页 |
| ·研磨与抛光 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 第三章 玻璃基蓝绿发光功能光波导的制作 | 第45-54页 |
| ·实验方案 | 第45页 |
| ·可行性分析 | 第45-47页 |
| ·波导制作 | 第47-50页 |
| ·Cu~+/Na~+离子交换 | 第47-48页 |
| ·标准掩膜光刻工艺 | 第48页 |
| ·Ag~+/Na~+离子交换 | 第48-50页 |
| ·工艺制作中需要注意的问题 | 第50-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |
| 第四章 实验结果与分析讨论 | 第54-68页 |
| ·通光测试 | 第54-56页 |
| ·光波导的通光测试系统 | 第54-55页 |
| ·通光测试结果及分析 | 第55-56页 |
| ·荧光测试 | 第56-62页 |
| ·仪器简介 | 第56-57页 |
| ·光谱测量及分析 | 第57-62页 |
| ·电子探针显微分析 | 第62-65页 |
| ·仪器介绍 | 第62-64页 |
| ·测试结果及分析讨论 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·本文工作的不足与展望 | 第69-71页 |
| 作者简介及攻读硕士学位期间主要研究成果 | 第71页 |
