| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·引言 | 第11-16页 |
| ·课题研究背景 | 第16-17页 |
| ·国内外的发展状况 | 第17-22页 |
| ·Ge/Si、Silicon/sapphire等异质结结构 | 第17-19页 |
| ·背向开空气槽的undercut结构 | 第19-20页 |
| ·Hollow-Core结构 | 第20-21页 |
| ·Freestanding结构 | 第21-22页 |
| ·本论文的研究目的与内容 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-25页 |
| 第二章 长波红外硅基光波导的理论分析 | 第25-38页 |
| ·基于大截面的长波红外硅基光波导 | 第25-26页 |
| ·基于undercut型的长波红外硅基光波导 | 第26-32页 |
| ·硅基长波红外slot波导的基本分析 | 第28-30页 |
| ·长波红外情况下的硅基slot波导偏振无关定向耦合器 | 第30-32页 |
| ·梯形支撑平台的倒梯形长波红外硅基光波导 | 第32-36页 |
| 参考文献 | 第36-38页 |
| 第三章 长波红外硅墓光波导的工艺研究 | 第38-51页 |
| ·大截面长波红外硅基光波导的制备工艺 | 第38-40页 |
| ·大截面长波红外硅墓光波导的制备流程 | 第40-42页 |
| ·undercut型长波红外硅基光波导的制备工艺 | 第42-44页 |
| ·梯形支撑平台的倒梯形长波红外硅基光波导的制备工艺 | 第44-47页 |
| ·实验工艺的总结 | 第47-50页 |
| 参考文献 | 第50-51页 |
| 第四章 长波红外光波导器件的测试系统 | 第51-60页 |
| ·光源与聚焦透镜 | 第51页 |
| ·探测器和锁相放大器 | 第51-55页 |
| ·前置放大电路概述 | 第52-53页 |
| ·设计方案 | 第53-54页 |
| ·Labview仿真分析 | 第54-55页 |
| ·实际测试结果 | 第55页 |
| ·数据采集系统 | 第55-56页 |
| ·器件测试结果和分析 | 第56-59页 |
| ·大截面硅基光波导的传输损耗测试 | 第57页 |
| ·undercut型波导的传输损耗测试 | 第57-58页 |
| ·测试结果的分析 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第五章 基于undercut波导的长波红外多模干涉型光功分器 | 第60-70页 |
| ·多模干涉的原理 | 第60-64页 |
| ·多模干涉的基本原理 | 第60-61页 |
| ·利用导模传输分析法设计器件尺寸 | 第61-64页 |
| ·MMI的制备和测试 | 第64-67页 |
| ·MMI的制备 | 第64-66页 |
| ·MMI的测试 | 第66-67页 |
| ·MMI的工艺优化 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70-71页 |
| ·本文的不足与展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 附录 | 第73页 |
