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表面等离子激元共振传感器性能优化

学位论文数据集第4-5页
摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第13-19页
    1.1 SPR传感器概述第13页
    1.2 SPR传感器的发展历史第13-14页
    1.3 SPR传感器的分类第14-18页
        1.3.1 棱镜耦合型SPR传感器第14-16页
        1.3.2 光纤耦合型SPR传感器第16-17页
        1.3.3 光栅耦合型SPR传感器第17-18页
    1.4 本章小结第18-19页
第二章 SPR传感器的电磁学理论第19-27页
    2.1 金属与介质交界面的表面等离子激元第19-21页
    2.2 表面等离子激元共振条件第21-23页
    2.3 传统近似理论和薄膜光学特征矩阵法第23-26页
        2.3.1 传统近似理论第23-25页
        2.3.2 薄膜光学特征矩阵法第25-26页
    2.4 本章小结第26-27页
第三章 SPR传感器的重要参数第27-33页
    3.1 共振角第27-28页
    3.2 共振角处反射率第28页
    3.3 灵敏度第28-29页
    3.4 线宽第29-30页
    3.5 品质因子第30页
    3.6 SPR传感器的金属薄膜第30-31页
    3.7 木章小结第31-33页
第四章 用虚设层提高SPR传感器的品质因子第33-39页
    4.1 虚设层第33-34页
    4.2 氯化钾和氮化硅虚设层第34-36页
    4.3 数值模拟与结构讨论第36-38页
    4.4 本章小结第38-39页
第五章 用多孔二氧化硅薄膜提高SPR传感器的品质因子第39-51页
    5.1 多孔二氧化硅薄膜第39-40页
    5.2 多孔二氧化硅薄膜的折射率与孔隙率的关系第40-41页
    5.3 多孔二氧化硅薄膜对SPR传感器的影响第41-47页
        5.3.1 孔隙率为20%的多孔二氧化硅薄膜第41-43页
        5.3.2 孔隙率为40%的多孔二氧化硅薄膜第43-44页
        5.3.3 孔隙率为60%的多孔二氧化硅薄膜第44-45页
        5.3.4 孔隙率为80%的多孔二氧化硅薄膜第45-47页
        5.3.5 模拟结果讨论第47页
    5.4 折射率与膜厚对品质因子的影响第47-48页
    5.5 本章小结第48-51页
第六章 工作总结第51-53页
参考文献第53-57页
致谢第57-59页
学术成果和发表的学术论文第59-61页
作者和导师简介第61-62页
硕士研究生学位论文答辩委员会决议书第62-63页

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