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直流磁控溅射法制备TiN_xO_y太阳能吸热薄膜及其性能研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-28页
   ·引言第12-13页
   ·太阳能吸热膜相关理论基础第13-18页
     ·太阳能集热器与集热器效率第13-14页
       ·热辐射理论第14-15页
     ·太阳的吸收率和发射率第15-17页
     ·太阳光谱的选择性吸收第17-18页
   ·太阳能吸热膜的概述第18-25页
     ·太阳能吸热膜的简介第18页
     ·太阳能吸热膜的发展历史第18-19页
     ·太阳能吸热膜的分类第19-21页
       ·非选择性吸热薄膜第19-20页
       ·选择性吸热薄膜第20-21页
     ·太阳能选择性涂层的吸收机制第21-23页
       ·本征吸收机制第21页
       ·多层干涉滤波机制第21-22页
       ·微不平表面机制第22页
       ·复合涂层吸收机制第22-23页
     ·太阳能吸热涂层的制备方法第23-25页
       ·电化学法第23页
       ·气相沉积技术第23-24页
       ·其他方法第24-25页
   ·本文的主要工作第25-28页
     ·研究目的、意义第25页
     ·研究内容第25-28页
第二章 实验方法第28-34页
   ·基片的预处理第28页
     ·玻璃片的清洗第28页
     ·铝片的清洗第28页
   ·薄膜的制备方法第28-29页
   ·实验设备第29-30页
   ·实验原料第30页
   ·薄膜的性能表征第30-34页
     ·薄膜农面形貌的表征第30-31页
     ·薄膜的颜色表征第31-32页
     ·薄膜的电化学性能表征第32-33页
     ·薄膜光学性能的表征第33-34页
第三章 TiN_xO_y单层薄膜的研究第34-48页
   ·引言第34页
   ·试验过程第34-35页
   ·单层TiN_xO_y薄膜的表征及结果分析第35-45页
     ·单层TiN_xO_y薄膜的颜色表征及分析第35-41页
       ·氧气分压对单层TiN_xO_y薄膜颜色的影响第37-39页
       ·溅射时间对单层TiN_xO_y薄膜颜色的影响第39-41页
     ·单层TiN_xO_y薄膜的表面形貌及分析第41-45页
       ·氧气分压对TiN_xO_y薄膜表面形貌的影响第42-44页
       ·溅射时间对TiN_xO_y薄膜表面形貌的影响第44-45页
   ·单层TiN_xO_y薄膜耐腐蚀性研究第45-47页
     ·氧气分压对TiN_xO_y薄膜的耐蚀性影响第45-46页
     ·溅射时间对TiN_xO_y薄膜的耐蚀性影响第46-47页
   ·本章小结第47-48页
第四章 复合吸热薄膜的研究第48-64页
   ·引言第48页
   ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的制备及表征第48-56页
     ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的制备方法第48页
     ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的表征及结果分析第48-54页
       ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的颜色表征及分析第48-53页
       ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的表面形貌表征及分析第53-54页
     ·TiN_xO_y/TiN复合薄膜的耐蚀性研究第54-56页
   ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的制备及表征第56-62页
     ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的制备方法第56页
     ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的表征及结果分析第56-60页
       ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的颜色表征及分析第56-59页
       ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的表面形貌表征及分析第59-60页
     ·TiN_xO_y/TiSiN复合薄膜的耐蚀性研究第60-62页
   ·氮氧化钛吸热薄膜的光学性能研究第62-63页
   ·本章小结第63-64页
第五章 结论第64-66页
参考文献第66-70页
致谢第70页

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