| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-15页 |
| 1 绪论 | 第15-39页 |
| ·BCN化合物的研究背景 | 第15-18页 |
| ·BCN化合物的理论研究 | 第18-26页 |
| ·第一性原理计算简介 | 第19-22页 |
| ·类石墨结构BCN三元化合物的理论研究 | 第22-24页 |
| ·类金刚石结构BCN三元化合物的理论研究 | 第24-26页 |
| ·BCN薄膜的制备 | 第26-34页 |
| ·溅射法(Sputtering) | 第26-31页 |
| ·离子束辅助沉积法(Ion Beam Assisted Deposition,IBAD) | 第31-32页 |
| ·脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition,PLD) | 第32页 |
| ·等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical VaporDeposition,PECVD) | 第32-34页 |
| ·BCN薄膜的表征 | 第34-37页 |
| ·BCN薄膜表面形貌观察 | 第35页 |
| ·BCN薄膜化学成分分析 | 第35页 |
| ·BCN薄膜晶体结构分析 | 第35-36页 |
| ·BCN薄膜键合状态分析 | 第36页 |
| ·BCN薄膜性能分析 | 第36-37页 |
| ·本文选题的研究意义及主要内容 | 第37-39页 |
| 2 BCN薄膜的制备与表征 | 第39-53页 |
| ·磁控溅射的实验装置 | 第39-40页 |
| ·磁控溅射法制备BCN薄膜的基本程序与工艺 | 第40-43页 |
| ·基底的制作 | 第40-41页 |
| ·靶材的制作 | 第41页 |
| ·薄膜制备的基本过程 | 第41-42页 |
| ·制备工艺参数的选择 | 第42-43页 |
| ·BCN薄膜的表征 | 第43-52页 |
| ·表面形貌表征 | 第43页 |
| ·成分结构表征 | 第43-45页 |
| ·附着性能表征 | 第45-48页 |
| ·摩擦学性能表征 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 3 常规工艺对BCN薄膜性能的影响 | 第53-81页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·沉积时间对BCN薄膜性能的影响 | 第53-58页 |
| ·实验 | 第53-54页 |
| ·沉积时间对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第54-56页 |
| ·沉积时间对BCN薄膜成分结构的影响 | 第56-58页 |
| ·结论 | 第58页 |
| ·氮气分压比对BCN薄膜性能的影响 | 第58-63页 |
| ·实验 | 第58-59页 |
| ·氮气分压比对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第59-61页 |
| ·氮气分压比对BCN薄膜成分结构的影响 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第63页 |
| ·工作气压对BCN薄膜性能的影响 | 第63-67页 |
| ·实验 | 第63-64页 |
| ·工作气压对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第64-66页 |
| ·工作气压对BCN薄膜成分结构的影响 | 第66-67页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·射频功率对BCN薄膜性能的影响 | 第67-72页 |
| ·实验 | 第67-68页 |
| ·射频功率对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第68-70页 |
| ·射频功率对BCN薄膜成分结构的影响 | 第70-72页 |
| ·结论 | 第72页 |
| ·基底偏压对BCN薄膜性能的影响 | 第72-79页 |
| ·实验 | 第72页 |
| ·基底偏压对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第72-74页 |
| ·基底偏压对BCN薄膜成分结构的影响 | 第74-79页 |
| ·结论 | 第79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 4 基片处理对BCN薄膜性能的影响 | 第81-97页 |
| ·引言 | 第81-82页 |
| ·基片表面预处理对BCN薄膜性能的影响 | 第82-90页 |
| ·实验 | 第82-83页 |
| ·基片表面预处理对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第83-85页 |
| ·基片表面预处理对BCN薄膜成分结构的影响 | 第85-89页 |
| ·结论 | 第89-90页 |
| ·沉积中间层对BCN薄膜性能的影响 | 第90-95页 |
| ·实验 | 第90-91页 |
| ·沉积中间层对BCN薄膜附着性能与摩擦学性能的影响 | 第91-93页 |
| ·沉积中间层对BCN薄膜成分结构的影响 | 第93-95页 |
| ·结论 | 第95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 5 WC表面吸附特性的第一性原理研究 | 第97-123页 |
| ·引言 | 第97-98页 |
| ·计算模型的构建与参数的选择 | 第98-101页 |
| ·WC(001)表面吸附B、C、N原子的计算结果与分析 | 第101-112页 |
| ·计算模型的优化 | 第101-103页 |
| ·吸附结构及吸附能分析 | 第103-105页 |
| ·态密度分析 | 第105-110页 |
| ·布居分析 | 第110-111页 |
| ·结论 | 第111-112页 |
| ·WC(100)表面吸附B、C、N原子的计算结果与分析 | 第112-122页 |
| ·计算模型的优化 | 第112-113页 |
| ·吸附结构与吸附能分析 | 第113-115页 |
| ·态密度分析 | 第115-121页 |
| ·布居分析 | 第121-122页 |
| ·结论 | 第122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 6 WC-Co表面吸附特性的第一性原理研究 | 第123-139页 |
| ·引言 | 第123页 |
| ·计算模型的构建与参数的选择 | 第123-125页 |
| ·WC-Co表面吸附B、C、N原子的计算结果与分析 | 第125-138页 |
| ·计算模型的优化 | 第125-126页 |
| ·吸附结构及吸附能分析 | 第126-129页 |
| ·态密度分析 | 第129-135页 |
| ·布居分析 | 第135-136页 |
| ·Co元素对硬质合金表面吸附特性的影响 | 第136-137页 |
| ·结论 | 第137-138页 |
| ·本章小结 | 第138-139页 |
| 7 结论与展望 | 第139-143页 |
| ·结论 | 第139-141页 |
| ·展望 | 第141-143页 |
| 参考文献 | 第143-151页 |
| 致谢 | 第151-152页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第152页 |
