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磁控溅射法制备几种金属、金属氧化物薄膜及其性质研究

中文摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章:绪论第9-25页
   ·引言第9页
   ·纳米材料的基本效应第9-11页
   ·金属氧化物纳米材料的制备方法第11-12页
   ·金属氧化物纳米材料的研究现状及应用第12-19页
   ·功能性薄膜目前存在的主要问题第19-20页
   ·论文的研究思路及主要内容第20-21页
 参考文献第21-25页
第二章 氧化铜纳米线阵列薄膜的制备及其气敏性质第25-39页
   ·引言第25-26页
   ·磁控溅射法制备薄膜的原理及操作规程第26-29页
   ·实验部分第29-30页
     ·材料制备第29页
     ·材料表征第29页
     ·气敏特性测试结构第29-30页
   ·实验结果与讨论第30-36页
     ·形貌与结构第30-33页
     ·气敏性质表征第33-36页
   ·本章小结第36-37页
 参考文献第37-39页
第三章 Ti0_2/W0_3复合薄膜的动态电荷传输特性第39-49页
   ·引言第39页
   ·实验部分第39-40页
     ·材料制备第39-40页
     ·材料表征第40页
   ·实验结果与讨论第40-46页
     ·形貌、结构与I-V 特性第40-42页
     ·紫外-可见吸收光谱第42页
     ·Ti0_2/W0_3 复合薄膜的动态电荷分离与传输第42-46页
   ·本章小结第46-47页
 参考文献第47-49页
第四章 金属与金属氧化物超薄膜的制备第49-59页
   ·引言第49页
   ·实验部分第49-50页
     ·材料制备第49-50页
     ·材料表征第50页
   ·实验结果与讨论第50-56页
     ·薄膜的形成过程第50-52页
     ·薄膜粗糙度的研究第52-53页
     ·电压对粒径大小的影响第53-54页
     ·热氧化法制备金属氧化物第54-56页
   ·本章小结第56-58页
 参考文献第58-59页
工作总结与展望第59-61页
 工作总结第59-60页
 存在问题与展望第60-61页
硕士期间完成的论文第61-63页
致谢第63-64页

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