摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-15页 |
·引言 | 第7-8页 |
·石墨烯的结构 | 第8-9页 |
·石墨烯的应用前景 | 第9-13页 |
·本文主要内容 | 第13-15页 |
第二章 石墨烯的特性 | 第15-23页 |
·石墨烯的能带结构 | 第15-17页 |
·石墨烯的力学性质 | 第17-18页 |
·石墨烯的热学性质 | 第18页 |
·石墨烯的光学性质 | 第18-19页 |
·石墨烯的化学性质 | 第19页 |
·石墨烯的电磁学性质 | 第19-23页 |
第三章 碳化硅上外延石墨烯 | 第23-33页 |
·石墨烯的制备方法概述 | 第23-25页 |
·机械剥离法 | 第23页 |
·氧化石墨法 | 第23-24页 |
·化学气相沉积法 | 第24页 |
·SiC 外延生长法 | 第24-25页 |
·其他方法 | 第25页 |
·SiC 外延石墨烯的实验系统和准备 | 第25-27页 |
·实验生长系统 | 第26-27页 |
·SiC 衬底的准备 | 第27页 |
·实验工艺流程 | 第27-33页 |
·实验流程图 | 第27-28页 |
·实验工艺探索过程与设计方案的研究 | 第28-33页 |
第四章 石墨烯的表征 | 第33-47页 |
·表征方法简介 | 第33-37页 |
·扫描电子显微镜 | 第33页 |
·原子力显微镜 | 第33-34页 |
·光电显微镜 | 第34-35页 |
·Raman 光谱 | 第35-37页 |
·表征结果 | 第37-44页 |
·AFM | 第37页 |
·XPS | 第37-38页 |
·Raman | 第38-41页 |
·SEM | 第41-42页 |
·生长温度对 6H-SiC 外延石墨烯形貌和结构的影响 | 第42-43页 |
·问题讨论 | 第43-44页 |
·本章小结 | 第44-47页 |
第五章 总结与展望 | 第47-49页 |
致谢 | 第49-51页 |
参考文献 | 第51-55页 |