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碳化硅上石墨烯的制备与表征

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-15页
   ·引言第7-8页
   ·石墨烯的结构第8-9页
   ·石墨烯的应用前景第9-13页
   ·本文主要内容第13-15页
第二章 石墨烯的特性第15-23页
   ·石墨烯的能带结构第15-17页
   ·石墨烯的力学性质第17-18页
   ·石墨烯的热学性质第18页
   ·石墨烯的光学性质第18-19页
   ·石墨烯的化学性质第19页
   ·石墨烯的电磁学性质第19-23页
第三章 碳化硅上外延石墨烯第23-33页
   ·石墨烯的制备方法概述第23-25页
     ·机械剥离法第23页
     ·氧化石墨法第23-24页
     ·化学气相沉积法第24页
     ·SiC 外延生长法第24-25页
     ·其他方法第25页
   ·SiC 外延石墨烯的实验系统和准备第25-27页
     ·实验生长系统第26-27页
     ·SiC 衬底的准备第27页
   ·实验工艺流程第27-33页
     ·实验流程图第27-28页
     ·实验工艺探索过程与设计方案的研究第28-33页
第四章 石墨烯的表征第33-47页
   ·表征方法简介第33-37页
     ·扫描电子显微镜第33页
     ·原子力显微镜第33-34页
     ·光电显微镜第34-35页
     ·Raman 光谱第35-37页
   ·表征结果第37-44页
     ·AFM第37页
     ·XPS第37-38页
     ·Raman第38-41页
     ·SEM第41-42页
     ·生长温度对 6H-SiC 外延石墨烯形貌和结构的影响第42-43页
     ·问题讨论第43-44页
   ·本章小结第44-47页
第五章 总结与展望第47-49页
致谢第49-51页
参考文献第51-55页

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