光学自由曲面检测光路方案及关键部件设计研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-9页 |
| ·论文的研究背景及意义 | 第7-8页 |
| ·本论文的研究内容 | 第8-9页 |
| 2 光学非球面检测方法的研究 | 第9-18页 |
| ·光学非球面的面形表达 | 第9-10页 |
| ·非干涉测量法 | 第10-11页 |
| ·轮廓仪法 | 第10页 |
| ·哈特曼法 | 第10-11页 |
| ·干涉测量法 | 第11-17页 |
| ·零位检测法 | 第11-13页 |
| ·补偿法 | 第11-13页 |
| ·无象差点法 | 第13页 |
| ·非零位检测法 | 第13-17页 |
| ·径向剪切法 | 第13-14页 |
| ·子孔径拼接法 | 第14-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 3 光学自由曲面的相关研究 | 第18-31页 |
| ·光学自由曲面面形表达方法 | 第18-25页 |
| ·Coons曲面的构造方法及特点 | 第19-22页 |
| ·B样条曲面的构造方法及其特点 | 第22页 |
| ·NURBS曲面的构造方法及特点 | 第22-23页 |
| ·光学自由曲面在设计中的表达方式 | 第23-25页 |
| ·光学自由曲面的加工 | 第25-26页 |
| ·光学自由曲面的检测方法 | 第26-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 4 有限共轭等晕型标准球面透镜组的设计 | 第31-48页 |
| ·传统标准球面透镜组的工作原理 | 第31-32页 |
| ·有限共扼等晕型标准球面透镜组的工作原理 | 第32页 |
| ·有限共轭等晕标准球面透镜组的设计 | 第32-45页 |
| ·有限共轭等晕标准球面透镜组的结构选型 | 第32-34页 |
| ·传统标准球面透镜组的结构选型 | 第32-33页 |
| ·有限共轭等晕型标准球面透镜组的结构选型 | 第33-34页 |
| ·有限共轭等晕标准球面透镜组的设计结果及像质评价 | 第34-45页 |
| ·设计结果 | 第34-42页 |
| ·像质评价 | 第42-45页 |
| ·公差分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 增大微透镜阵列数值孔径的光学系统设计 | 第48-56页 |
| ·微透镜阵列(MLA)数值孔径分析 | 第48-50页 |
| ·微透镜阵列介绍 | 第48-49页 |
| ·微透镜阵数值孔径分析 | 第49-50页 |
| ·对小数值孔径的微透镜阵列(MLA)的分析 | 第50-52页 |
| ·增大微透镜阵列(MLA)数值孔径的光路方案 | 第52-53页 |
| ·10倍无焦系统的光学设计 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-57页 |
| ·本文工作总结 | 第56页 |
| ·不足和展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
