| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-37页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第14-17页 |
| ·DOE制作方法的国内外研究现状 | 第17-27页 |
| ·金刚石车削技术 | 第17-19页 |
| ·干涉光刻技术 | 第19-20页 |
| ·掩模光刻技术 | 第20-22页 |
| ·直写技术 | 第22-26页 |
| ·复制技术 | 第26-27页 |
| ·激光直写技术发展现状 | 第27-35页 |
| ·国外激光直写的发展现状 | 第27-32页 |
| ·国内激光直写的发展现状 | 第32-35页 |
| ·课题来源和主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第2章 极坐标激光直写的曝光量分布理论与线条径向漂移研究 | 第37-52页 |
| ·引言 | 第37页 |
| ·极坐标激光直写的系统组成 | 第37-39页 |
| ·激光直写时光刻胶内曝光量分布 | 第39-44页 |
| ·直角坐标激光直写曝光量分布 | 第40页 |
| ·极坐标激光直写曝光量分布 | 第40-44页 |
| ·极坐标激光直写线条展宽和径向漂移 | 第44-51页 |
| ·极坐标激光直写的误差分析 | 第44-45页 |
| ·线条展宽模型和径向漂移模型 | 第45-49页 |
| ·径向漂移补偿和线条展宽补偿 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第3章 极坐标激光直写S曲线光强控制接头光滑闭合方法 | 第52-71页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·传统接头闭合方法 | 第52-58页 |
| ·影响接头闭合质量的因素 | 第52-53页 |
| ·传统接头闭合方法分析 | 第53-58页 |
| ·S曲线光强控制接头闭合方法 | 第58-65页 |
| ·S曲线光强控制模型 | 第58-62页 |
| ·S曲线光强控制方法参数优化 | 第62-65页 |
| ·光斑尺寸对闭合效果的影响 | 第65-68页 |
| ·横坐标单位长度代表的实际长度对曝光量分布影响 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第4章 离焦激光直写稳定线宽方法研究 | 第71-86页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·传统的多线宽线条加工方法 | 第71-76页 |
| ·重叠写入方法 | 第71-72页 |
| ·多物镜系统和孔径光阑可变系统 | 第72-73页 |
| ·调节曝光强度方法 | 第73-74页 |
| ·离焦直写方法 | 第74-76页 |
| ·离焦激光直写线宽稳定性的影响要素 | 第76-77页 |
| ·离焦激光直写稳定线宽的光功率控制方法 | 第77-85页 |
| ·针对曝光量误差的稳定线宽光功率控制方法 | 第80-83页 |
| ·针对曝光阈值误差的稳定线宽光功率控制方法 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 实验分析 | 第86-103页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·S曲线光滑闭合方法的实验 | 第86-93页 |
| ·声光调制器特性曲线 | 第86-88页 |
| ·S曲线和斜线段光强控制方法闭合效果对比实验 | 第88-91页 |
| ·S曲线控制参数优化前后效果实验对比 | 第91-93页 |
| ·离焦激光直写稳定线宽方法的效果验证 | 第93-102页 |
| ·放大物镜放大倍率测量实验 | 第94-95页 |
| ·直写光斑束腰测量实验 | 第95-96页 |
| ·针对曝光量误差的稳定线宽方法验证 | 第96-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 结论 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-120页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第120-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 个人简历 | 第123页 |