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小型光栅位移传感器设计

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第6-9页
   ·研究目的及意义第6-7页
   ·国内外研究现状第7-8页
   ·论文的研究主要内容第8-9页
第二章 光栅测径仪第9-14页
   ·技术指标与要求第9页
   ·光栅测径仪的构成第9-14页
第三章 光栅位移传感器设计要点第14-23页
   ·莫尔条纹检测原理及特点第14-17页
   ·光栅传感器设计第17-23页
第四章 电路及处理系统第23-46页
   ·差分放大电路第23-25页
   ·光栅传感器辨相电路第25-33页
   ·光栅信号细分第33-43页
   ·处理器的选取第43-46页
第五章 光栅传感器的精度分析第46-51页
   ·莫尔条纹信号质量影响因素第46页
   ·传感器信号误差分析第46-48页
   ·传感器本体误差分析第48-49页
   ·误差合成及实验数据第49-51页
结论第51-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-54页

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