| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-9页 |
| §1.1 引言 | 第6-7页 |
| §1.2 研究的目的和内容 | 第7-9页 |
| 第二章 反射式准直系统设计 | 第9-16页 |
| §2.1 准直系统结构的考虑 | 第9-11页 |
| §2.2 准直系统的优化设计 | 第11-16页 |
| 第三章 离轴非球面反射镜的制造 | 第16-24页 |
| §3.1 加工方法的选定 | 第16页 |
| §3.2 非球面度的计算 | 第16-20页 |
| §3.3 挖圆 | 第20-24页 |
| 第四章 精确离焦法 | 第24-34页 |
| §4.1 Talbot自成像莫尔条纹法测光束发散角度 | 第24-26页 |
| §4.2 图像处理测莫尔条纹转角 | 第26-32页 |
| §4.3 提高测量坐标值的算法 | 第32-33页 |
| §4.4 测量莫尔条纹的实验装置及测试误差 | 第33-34页 |
| 第五章 离轴非球面镜波面检测 | 第34-41页 |
| §5.1 非球面面形检测方法 | 第34页 |
| §5.2 横向剪切波面检测方法 | 第34-35页 |
| §5.3 波面与剪切干涉图 | 第35-36页 |
| §5.4 光强与干涉图像素值 | 第36-37页 |
| §5.5 波面拟合基底函数系 | 第37-40页 |
| §5.6 提高剪切测量的方法 | 第40-41页 |
| 结论 | 第41-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |