| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·DLC膜的概述 | 第9页 |
| ·DLC膜的结构及特性 | 第9-11页 |
| ·DLC的性能和应用 | 第11-14页 |
| ·DLC膜的性能 | 第11-13页 |
| ·DLC膜的应用 | 第13-14页 |
| ·DLC膜存在的主要问题及解决办法 | 第14-16页 |
| ·目前存在的主要问题 | 第14-15页 |
| ·解决办法 | 第15-16页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 DLC薄膜的制备及分析方法 | 第17-28页 |
| ·DLC薄膜的制备方法 | 第17-22页 |
| ·物理气相沉积 | 第17-20页 |
| ·化学气相沉积 | 第20-22页 |
| ·DLC薄膜的分析方法 | 第22-28页 |
| ·表面形貌分析 | 第22-24页 |
| ·成份和结构分析 | 第24-27页 |
| ·摩擦学性能分析 | 第27页 |
| ·硬度和弹性模量分析 | 第27-28页 |
| 3 DLC膜的制备工艺 | 第28-35页 |
| ·DLC膜的设备及测试系统介绍 | 第28-32页 |
| ·实验设备及特点 | 第28-30页 |
| ·等离子体诊断系统及射频自负偏压测试系统 | 第30-32页 |
| ·基体材料及处理 | 第32页 |
| ·DLC膜的制备工艺 | 第32-34页 |
| ·Pulse-PECVD制备DLC膜 | 第32-34页 |
| ·RF-PECVD制备DLC膜 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 Pulse-PECVD制备DLC膜结构和性能研究 | 第35-52页 |
| ·引言 | 第35-36页 |
| ·DLC膜的沉积工艺参数 | 第35-36页 |
| ·不同电压下DLC膜的结构和性能分析 | 第36-42页 |
| ·DLC膜的结构分析 | 第36-38页 |
| ·DLC膜的形貌分析 | 第38-40页 |
| ·DLC膜的机械性能分析 | 第40-41页 |
| ·DLC膜的摩擦学性能分析 | 第41-42页 |
| ·不同气体流量下DLC膜的结构和性能 | 第42-47页 |
| ·DLC膜的结构分析 | 第42-44页 |
| ·DLC膜的形貌分析 | 第44-46页 |
| ·DLC膜的机械性能分析 | 第46页 |
| ·DLC膜的摩擦学性能分析 | 第46-47页 |
| ·Pulse-PECVD制备DLC膜等离子体诊断 | 第47-51页 |
| ·朗缪尔探针的工作原理 | 第47-48页 |
| ·由单探针 I-V特性曲线获取等离子体参数 | 第48-49页 |
| ·测试离子流密度 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 RF-PECVD制备 DLC膜及其结构和性能研究 | 第52-60页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·RF-PECVD制备DLC薄膜 | 第52-55页 |
| ·功率的影响 | 第52-53页 |
| ·薄膜结构和性能分析 | 第53-55页 |
| ·RF-PECVD制备DLC膜自负偏压测定 | 第55-59页 |
| ·射频自负偏压的测定 | 第55页 |
| ·射频功率、工作气压及气氛对射频自负偏压的影响 | 第55-58页 |
| ·讨论 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |