钽酸锂薄膜红外探测器的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·红外探测与红外探测器 | 第9-12页 |
| ·热释电红外探测器国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本文的技术背景及主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 热释电探测器的探测原理 | 第15-23页 |
| ·材料的介电、压电、热释电和铁电性质 | 第15-16页 |
| ·热释电效应的概念与原理 | 第16-18页 |
| ·热释电材料的分类 | 第18-21页 |
| ·热释电红外探测器的工作原理及设计关键 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 钽酸锂薄膜红外探测器敏感元的热分析 | 第23-37页 |
| ·热分析的基本理论 | 第23-27页 |
| ·钽酸锂薄膜红外探测器的热仿真 | 第27-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 钽酸锂薄膜红外探测器敏感元的制备与测试 | 第37-58页 |
| ·薄膜的制作方法 | 第37-42页 |
| ·钽酸锂薄膜敏感元的制备 | 第42-45页 |
| ·薄膜微结构与电性能的测试与分析 | 第45-48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 钽酸锂薄膜红外探测器制备的研究 | 第58-77页 |
| ·钽酸锂薄膜红外探测器热绝缘结构的研究 | 第58-63页 |
| ·钽酸锂薄膜红外探测器前置放大电路的研究 | 第63-74页 |
| ·钽酸锂薄膜红外探测器的制作工艺 | 第74-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-78页 |
| ·总结 | 第77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-82页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第82-83页 |
