MOD法制备YBCO薄膜及工艺研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·高温超导材料发展历程 | 第8页 |
| ·高温超导薄膜发展现状 | 第8-11页 |
| ·YBCO高温超导体的结构 | 第11-13页 |
| ·高温超导薄膜制备技术 | 第13-19页 |
| ·衬底基片的要求与选择 | 第14-17页 |
| ·基片的清洗 | 第17-18页 |
| ·超导薄膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·本课题的研究目的及内容 | 第19-21页 |
| 第二章 实验基本原理及用品 | 第21-27页 |
| ·研究思路 | 第21-22页 |
| ·试验基本原理 | 第22-24页 |
| ·TFA-MOD外延成相反应机理 | 第23页 |
| ·无氟-MOD外延成相过程 | 第23-24页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·实验主要化学试剂 | 第25-26页 |
| ·超导薄膜性能测试 | 第26-27页 |
| 第三章 YBCO稳定溶胶配制 | 第27-33页 |
| ·溶胶制备基本原理 | 第27-28页 |
| ·前驱物选择对比 | 第28-30页 |
| ·YBCO溶胶制备 | 第30-33页 |
| 第四章 YBCO薄膜制备 | 第33-54页 |
| ·薄膜制备基本原理 | 第33-35页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第35-37页 |
| ·真空干燥 | 第37-38页 |
| ·涂后热处理 | 第38-50页 |
| ·热处理条件下的微观反映机理 | 第38-44页 |
| ·热处理条件选择 | 第44-50页 |
| ·各阶段热处理工艺 | 第50-54页 |
| ·方案一 | 第52-53页 |
| ·方案二 | 第53页 |
| ·方案三 | 第53-54页 |
| 第五章 分析与讨论 | 第54-74页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·样品测试分析与讨论 | 第54-74页 |
| ·方案一样品分析讨论 | 第54-58页 |
| ·方案二样品分析讨论 | 第58-64页 |
| ·方案三样品分析与讨论 | 第64-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第81页 |
