| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·透明导电氧化物的研究背景 | 第8-11页 |
| ·CuAlO_2薄膜的研究进展 | 第11-15页 |
| ·CuAlO_2薄膜的晶体结构 | 第11-12页 |
| ·CuAlO_2薄膜制备工艺及国内外研究进展 | 第12-15页 |
| ·CuAlO_2薄膜的应用前景与研究展望 | 第15-17页 |
| ·掺杂改善CuAlO_2的电导率 | 第17页 |
| ·本论文的研究目的和内容 | 第17-19页 |
| 第二章 薄膜样品的制备及表征方法 | 第19-29页 |
| ·制备方法 | 第19-21页 |
| ·脉冲激光沉积的基本原理 | 第19-20页 |
| ·脉冲激光沉积的特点和优势 | 第20-21页 |
| ·样品的结构和性能测试 | 第21-28页 |
| ·X射线衍射 | 第21-22页 |
| ·粒度测试 | 第22页 |
| ·拉曼光谱测试 | 第22-23页 |
| ·R-T测试 | 第23-24页 |
| ·密度测试 | 第24-25页 |
| ·热探针法 | 第25-26页 |
| ·SEM测试 | 第26页 |
| ·X射线光电子能谱 | 第26-27页 |
| ·薄膜的光学性能测试 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 CuAlO_2靶材制备及陶瓷性能研究 | 第29-46页 |
| ·CuAlO_2粉末的制备和性能研究 | 第29-37页 |
| ·CuAlO_2粉末的制备工艺 | 第29-30页 |
| ·CuAlO_2粉末的XRD测试 | 第30-33页 |
| ·CuAlO_2粉末粒度测试 | 第33-37页 |
| ·CuAlO_2靶材的制备及其性能研究 | 第37-43页 |
| ·CuAlO_2靶材的制备工艺 | 第37-38页 |
| ·CuAlO_2靶材的XRD测试分析 | 第38页 |
| ·CuAlO_2靶材的密度测试分析 | 第38-39页 |
| ·CuAlO_2靶材的R-T测试分析 | 第39-41页 |
| ·CuAlO_2靶材的拉曼光谱分析 | 第41-42页 |
| ·热探针法测靶材的导电类型 | 第42-43页 |
| ·CuAlO_2靶材的SEM测试分析 | 第43页 |
| ·掺Co的CuAl_(1-x)Co_xO_2靶材制备和性能研究 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 CuAlO_2薄膜制备及其表征 | 第46-59页 |
| ·CuAlO_2薄膜的制备 | 第46-50页 |
| ·紫外脉冲激光沉积(PLD)装置 | 第46-47页 |
| ·衬底选择与衬底清洗 | 第47-48页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第48页 |
| ·PLD法制备CuAlO_2薄膜 | 第48-50页 |
| ·热处理对薄膜结构的影响 | 第50-53页 |
| ·薄膜的性能测试 | 第53-57页 |
| ·薄膜的XPS测试 | 第53-55页 |
| ·薄膜的R-T测试 | 第55-56页 |
| ·薄膜的光学性能测试 | 第56-57页 |
| ·掺Co的CuAl_(1-x)Co_xO_2薄膜制备和结构研究 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第59-60页 |
| ·展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 附录:攻读硕士期间发表论文目录 | 第66页 |