支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| ·微机械电子系统概述 | 第11-12页 |
| ·静电MEMS机电耦合特性研究概况 | 第12-14页 |
| ·力平衡式微加速度计研究概况 | 第14-17页 |
| ·本文研究的主要目标和内容 | 第17-19页 |
| 第2章 常见MEMS结构的等效刚度推导 | 第19-33页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·系统的受力和变形分析 | 第20-32页 |
| ·双端固支梁式平板电容系统 | 第20-24页 |
| ·双端固支梁式微加速度计 | 第24-28页 |
| ·双折叠梁式微加速度计 | 第28-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 支撑梁误差对机电耦合特性的影响 | 第33-54页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·单边平板电容系统参数计算 | 第33-35页 |
| ·单边平板电容的静电刚度效应 | 第35-37页 |
| ·刚度定义 | 第35-36页 |
| ·静电刚度分析 | 第36-37页 |
| ·单边平板电容系统吸附效应 | 第37-49页 |
| ·静态响应分析 | 第37-39页 |
| ·静态吸附电压分析 | 第39-43页 |
| ·动态吸附电压 | 第43-45页 |
| ·动态响应分析 | 第45-49页 |
| ·双边平板电容系统 | 第49-53页 |
| ·电容值、静电力计静电力矩计算 | 第50-51页 |
| ·静态吸附电压分析 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 支撑梁误差对微加速度计的性能影响 | 第54-69页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·微加速度计原理 | 第54-57页 |
| ·弹簧—质量系统 | 第54-56页 |
| ·电容检测 | 第56-57页 |
| ·微加速度计静力平衡分析 | 第57-63页 |
| ·电容、静电力及静电力矩计算 | 第58-62页 |
| ·静力平衡分析 | 第62-63页 |
| ·灵敏度及非线性误差分析 | 第63-65页 |
| ·热残余应力等干扰力对微加速度计的性能影响 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 总结与展望 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读硕士期间发表论文及科研成果 | 第76页 |
