平面三自由度柔顺精密定位平台的优化设计
| 第一章 绪论 | 第1-9页 |
| 1．1 课题研究的背景和意义 | 第6页 |
| 1．2 国内外研究现状及趋势 | 第6-7页 |
| 1．3 本论文的主要研究内容 | 第7-9页 |
| 第二章 精密定位平台的建模和优化设计 | 第9-27页 |
| 2．1 引言 | 第9页 |
| 2．2 基于高压驱动精密定位平台的优化设计 | 第9-23页 |
| 2．2．1 精密定位平台的建模 | 第10-12页 |
| 2．2．2 平台优化的目标函数 | 第12-13页 |
| 2．2．3 柔性铰链的强度约束 | 第13-14页 |
| 2．2．4 平台的固有频率约束 | 第14-15页 |
| 2．2．5 最大驱动力约束 | 第15-16页 |
| 2．2．6 输入祸合约束 | 第16-19页 |
| 2．2．7 平台几何尺寸约束 | 第19页 |
| 2．2．8 优化结果 | 第19-20页 |
| 2．2．9 平台输入输出的传递函数关系 | 第20-23页 |
| 2．3 基于低压驱动的精密定位平台 | 第23-26页 |
| 2．4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 平台的有限元模型及仿真 | 第27-31页 |
| 3．1 引言 | 第27页 |
| 3．2 平台的变形仿真 | 第27-30页 |
| 3．3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 平台实体 | 第31-36页 |
| 4．1 引言 | 第31页 |
| 4．2 平台的实体结构 | 第31-33页 |
| 4．2．1 平台主体的材料 | 第31-32页 |
| 4．2．2 驱动器及相关性能 | 第32-33页 |
| 4．2．3 传感器及相关性能 | 第33页 |
| 4．3 驱动器的定位 | 第33-34页 |
| 4．4 平台实验相关设备 | 第34-35页 |
| 4．5 本章小结 | 第35-36页 |
| 结束语 | 第36-38页 |
| 参考文献 | 第38-41页 |
| 附录 | 第41-43页 |
| 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44页 |
