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平面型共振隧穿二极管与共振隧穿晶体管的研究与应用

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-34页
   ·课题的研究背景和意义第7-9页
   ·共振隧穿二极管工作原理第9-15页
   ·共振隧穿三极管第15-22页
   ·国内外研究进展第22-28页
   ·分子束外延生长技术第28-32页
   ·本论文的研究工作第32-34页
第二章 平面型共振隧穿二极管的研制第34-60页
   ·平面型共振隧穿二极管的提出和意义第34-39页
   ·平面型共振隧穿二极管的材料结构设计第39-41页
   ·平面型共振隧穿二极管的器件结构和版图设计第41-45页
   ·平面型共振隧穿二极管的制作工艺第45-48页
   ·平面型共振隧穿二极管的测试和分析第48-60页
第三章 台面型共振隧穿二极管的研制第60-68页
   ·台面型共振隧穿二极管的材料结构、器件结构和版图设计第60-62页
   ·台面型共振隧穿二极管的制作工艺第62-64页
   ·台面型共振隧穿二极管的测试分析第64-68页
第四章 共振隧穿二极管的串联电阻对RTD 参数影响和测量第68-80页
   ·RTD 串联电阻的形成第68-70页
   ·RTD 串联电阻的形成第70-73页
   ·RTD 串联电阻RS 的测量方法第73-78页
   ·减少串联电阻的方法第78-80页
第五章 平面RTD 与Si 基器件的混合集成第80-105页
   ·关于MOBILE 电路的工作原理第80-84页
   ·由平面RTD 和场效应管组成的电路第84-98页
   ·由平面RTD 和三极管组成的电路第98-105页
第六章 共振隧穿三极管(RTT)的研制第105-126页
   ·RTT 的材料结构设计第105-110页
   ·RTT 的器件结构、版图设计和制作工艺第110-116页
   ·RTT 的测试和结果分析第116-126页
第七章 总结第126-127页
参考文献第127-137页
攻读博士期间发表的论文第137-138页
攻读博士期间参加的科研情况第138-139页
致谢第139页

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