| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 第一章 引言 | 第8-12页 |
| 1．1 研制背景和意义 | 第8-10页 |
| 1．2 研制方案的选择 | 第10-11页 |
| 1．3 论文内容 | 第11-12页 |
| 第二章 微束装置概况 | 第12-19页 |
| 2．1 靶室及其真空系统 | 第13-14页 |
| 2．2 微束装置主体 | 第14-17页 |
| 2．2．1 预准直孔部分 | 第15-16页 |
| 2．2．2 靶部分 | 第16页 |
| 2．2．3 针孔部分 | 第16-17页 |
| 2．2．4 样品部分 | 第17页 |
| 2．2．5 显微镜定位成像部分 | 第17页 |
| 2．3 微束装置的外围设备 | 第17-19页 |
| 第三章 微束装置平移台性能测试及改进 | 第19-26页 |
| 3．1 平移台的性能测试和改进 | 第19-25页 |
| 3．2 平移台控制系统的安装调试和优化 | 第25-26页 |
| 第四章 微束装置性能的在束检验 | 第26-43页 |
| 4．1 微束装置的定位方法 | 第26-28页 |
| 4．2 微束装置的束流监测系统 | 第28-32页 |
| 4．2．1 注量监测方法 | 第29-30页 |
| 4．2．2 针孔最佳位置的确定及针孔出束流剖面信息 | 第30页 |
| 4．2．3 针孔最佳角度的确定及束点品质初步分析 | 第30-32页 |
| 4．3 微束性能指标检验 | 第32-36页 |
| 4．3．1 PET膜蚀刻原理 | 第32-35页 |
| 4．3．2 扫描电镜工作原理 | 第35页 |
| 4．3．3 束流预期注量估算 | 第35-36页 |
| 4．3．4 束点寻找方法 | 第36页 |
| 4．4 微束束点大小及品质分析 | 第36-39页 |
| 4．5 微束束点辐照到样品上的定位精度 | 第39-40页 |
| 4．6 微束装置初步应用—二极管电荷收集实验 | 第40-43页 |
| 第五章 论文总结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 在读期间发表的论文 | 第46页 |