| 第一章 气敏传感器综述 | 第1-26页 |
| ·前言 | 第8-9页 |
| ·半导体气敏传感器的分类及其工作原理 | 第9-15页 |
| ·半导体气敏传感器的种类 | 第9-11页 |
| ·氧化物半导体型气敏材料的工作原理 | 第11-15页 |
| ·ABO_3钙钛矿型材料的研究现状 | 第15-24页 |
| ·ABO_3型钙钛矿氧化物的结构 | 第15-16页 |
| ·ABO_3钙钛矿型氧化物的气敏性质 | 第16-18页 |
| ·ABO_3型钙钛矿氧化物的气敏机理 | 第18-19页 |
| ·钙钛矿型气敏材料的制备方法 | 第19-24页 |
| ·课题的选取及其研究意义 | 第24页 |
| ·课题拟采用的实验设计及其创新性 | 第24-26页 |
| 第二章 实验研究方法 | 第26-39页 |
| ·工艺流程图 | 第26页 |
| ·钙钛矿型气敏靶材的制备 | 第26-27页 |
| ·PLD法制备气敏薄膜 | 第27-35页 |
| ·准分子激光镀膜原理 | 第28-32页 |
| ·PLD法制备薄膜的特点 | 第32-33页 |
| ·镀膜设备简介 | 第33-34页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第34-35页 |
| ·气敏性能检测方法 | 第35-39页 |
| ·气敏参数的定义 | 第35-36页 |
| ·气敏元件制备及检测 | 第36-39页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第39-52页 |
| ·多晶粉末LaSrMnO，LaGaSrMnO的气敏性 | 第39页 |
| ·LaCaMnO薄膜的气敏分析 | 第39-40页 |
| ·薄膜的结构分析 | 第39-40页 |
| ·薄膜的气敏分析 | 第40页 |
| ·薄膜LaSrCoO的气敏分析 | 第40-49页 |
| ·沉淀粉末的粒度分析 | 第40-41页 |
| ·粉末的结构分析 | 第41页 |
| ·粉末的表面形貌分析 | 第41-42页 |
| ·钙钛矿La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜对丁烷气体的气敏性研究 | 第42-43页 |
| ·钙钛矿La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜对H_2的气敏性研究 | 第43-47页 |
| ·钙钛矿La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3薄膜样品对乙醇的气敏性分析 | 第47-49页 |
| ·掺杂与未掺杂样品的比较分析 | 第49-50页 |
| ·气敏元件的重复性检测 | 第50-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| 第四章 钙钛矿材料气敏机理分析 | 第52-57页 |
| ·钙钛矿材料的结构分析 | 第52页 |
| ·气敏机理的讨论 | 第52-53页 |
| ·薄膜对O_2敏感机理研究 | 第52-53页 |
| ·薄膜对还原性气体敏感机理研究 | 第53页 |
| ·B原子种类对ABO_3型材料气敏性的影响 | 第53-55页 |
| ·锶掺杂的影响 | 第55-56页 |
| ·温度对气敏性的影响 | 第56-57页 |
| 第五章 结论 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
