| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 第一章 MEMS晶体薄膜构件热学性质的研究评述 | 第12-23页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件热学性质理论研究的内容及其意义 | 第14-16页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件热学性质理论研究的现状 | 第16-18页 |
| ·分子动力学模拟的原理与特点 | 第18-19页 |
| ·本文研究的思路、特点与内容架构 | 第19-21页 |
| ·本章小节 | 第21-23页 |
| 第二章 大块晶体及薄膜的晶格动力学与声子Green函数 | 第23-60页 |
| ·大块晶体的晶格动力学 | 第23-29页 |
| ·大块晶体的声子Green函数 | 第29-36页 |
| ·大块和谐晶体的声子Green函数 | 第29-30页 |
| ·大块非和谐晶体的声子Green函数 | 第30-36页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的晶格动力学与声子Green函数 | 第36-41页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的晶格动力学 | 第36-39页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的声子Green函数 | 第39-41页 |
| ·大块晶体的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第41-49页 |
| ·大块氩晶体的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第41-45页 |
| ·大块硅晶体的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第45-49页 |
| ·晶体薄膜的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第49-55页 |
| ·氩晶体薄膜的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第49-52页 |
| ·硅晶体薄膜的晶格动力学矩阵与非和谐势能 | 第52-55页 |
| ·数值计算结果与讨论 | 第55-58页 |
| ·氩晶体薄膜晶格振动 | 第55-57页 |
| ·氩晶体薄膜的声子谱线宽度 | 第57-58页 |
| ·本章小节 | 第58-60页 |
| 第三章 MEMS晶体薄膜构件的熔化性质与比热 | 第60-75页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的原子均方位移与熔化性质 | 第61-64页 |
| ·涨落-耗散定理 | 第61-62页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的原子均方位移 | 第62-64页 |
| ·Lindemann熔化判据 | 第64页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的比内能和比热 | 第64-68页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的比内能 | 第64-68页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的比热 | 第68页 |
| ·数值计算结果与讨论 | 第68-74页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的原子均方位移与熔化性质 | 第69-72页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的比热 | 第72-74页 |
| ·本章小节 | 第74-75页 |
| 第四章 MEMS晶格薄膜构件的热膨胀性质 | 第75-96页 |
| ·量子力学定态微扰理论 | 第76-79页 |
| ·零级近似波函数 | 第76-78页 |
| ·一级近似波函数 | 第78-79页 |
| ·热膨胀计算的微扰理论 | 第79-80页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的热膨胀计算的微扰理论 | 第80-89页 |
| ·晶体薄膜面向的热膨胀与热膨胀系数 | 第81-86页 |
| ·晶体薄膜法向的热膨胀与热膨胀系数 | 第86-89页 |
| ·大块晶体热膨胀计算的微扰理论 | 第89-90页 |
| ·大块氩晶体的热膨胀与热膨胀系数 | 第89页 |
| ·大块硅晶体的热膨胀与热膨胀系数 | 第89-90页 |
| ·数值计算结果与讨论 | 第90-94页 |
| ·本章小节 | 第94-96页 |
| 第五章 MEMS晶格薄膜构件的热传导性质 | 第96-109页 |
| ·Green-Kubo公式 | 第96-98页 |
| ·Hardy能量通量公式 | 第98-100页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件及大块晶体的能量通量 | 第100-102页 |
| ·氩晶体薄膜的能量通量 | 第100-102页 |
| ·大块氩晶体能量通量 | 第102页 |
| ·MEMS晶体薄膜构件的热传导 | 第102-105页 |
| ·数值计算结果与讨论 | 第105-108页 |
| ·本章小节 | 第108-109页 |
| 第六章 结束语 | 第109-112页 |
| ·本文的主要内容与创新点 | 第109-110页 |
| ·进一步研究的展望 | 第110-112页 |
| 致谢 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-124页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第124-125页 |
| 附录A 大块硅晶体及薄膜的原子相互作用力常数 | 第125-131页 |
| 附录B 大块硅晶体及薄膜的非和谐势能 | 第131-137页 |
| 附录C 硅晶体薄膜及大块晶体的能量通量 | 第137-143页 |
