微波MEMS共平面分形可重构带通滤波技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·RF MEMS概述 | 第11-12页 |
| ·本论文研究背景与意义 | 第12-14页 |
| ·RF MEMS可调滤波技术国内外研究现状 | 第14-20页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第20-21页 |
| ·本章小节 | 第21-22页 |
| 第二章 MEMS分形可重构带通滤波器的理论基础 | 第22-40页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·微波理论基础 | 第22-27页 |
| ·传输线种类及应用 | 第22-23页 |
| ·分布参数概念 | 第23-24页 |
| ·特性阻抗和传输常数 | 第24-25页 |
| ·传输线的阻抗匹配 | 第25-27页 |
| ·慢波共面波导传输线研究 | 第27-32页 |
| ·共平面波导传输线概述 | 第27-28页 |
| ·共平面波导传输线的传输特性参数 | 第28-31页 |
| ·慢波传输因子 | 第31-32页 |
| ·微波两端口网络 | 第32-34页 |
| ·微波滤波网络 | 第34-36页 |
| ·分形自相似理论原理 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 MEMS共平面分形可重构带通滤波器的设计 | 第40-53页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·滤波器技术指标 | 第40-41页 |
| ·滤波器的设计方法 | 第41-42页 |
| ·通常带通滤波器的设计方法 | 第42-46页 |
| ·低通原型滤波器 | 第42-44页 |
| ·由低通原型向带通滤波器的变换 | 第44-46页 |
| ·共平面波导分形可重构带通滤波器的设计 | 第46-51页 |
| ·共平面波导周期性结构带通单元的建模和仿真 | 第46-47页 |
| ·多触点开关的设计 | 第47-48页 |
| ·可重构带通滤波技术 | 第48-51页 |
| ·版图设计 | 第51-52页 |
| ·本章小节 | 第52-53页 |
| 第四章 MEMS分形可重构带通滤波器的工艺制备 | 第53-63页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·可重构带通滤波器的工艺实验研究 | 第53-57页 |
| ·滤波器整体工艺流程 | 第53-56页 |
| ·滤波器工艺流程图 | 第56-57页 |
| ·关键工艺研究与改进 | 第57-61页 |
| ·厚正胶工艺 | 第57-58页 |
| ·牺牲层工艺 | 第58-59页 |
| ·MEMS桥工艺 | 第59-61页 |
| ·实验所得的样品图 | 第61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 MEMS分形可重构带通滤波器的测试 | 第63-75页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·MEMS开关的测试 | 第63-65页 |
| ·开关的下拉电压测试 | 第63-64页 |
| ·开关的寿命测试 | 第64-65页 |
| ·可重构滤波器的测试 | 第65-68页 |
| ·高频在片测试系统 | 第65-67页 |
| ·测试原理 | 第67-68页 |
| ·实验样品测试结果及分析 | 第68-74页 |
| ·带通滤波单元测试 | 第68-69页 |
| ·可重构带通滤波器测试 | 第69-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-78页 |
| ·总结 | 第75-76页 |
| ·存在的问题和今后工作建议 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文和申请的专利论文 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
