基于TCAD的VDMOS功率器件仿真研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-6页 |
| 第1章 绪论 | 第6-14页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第6-7页 |
| ·VDMOS功率器件的国内外研究状况及分析 | 第7-12页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第2章 VDMOS功率器件的基本原理 | 第14-30页 |
| ·VDMOS功率器件的特点及应用 | 第14-17页 |
| ·器件的特点 | 第14-16页 |
| ·器件的应用 | 第16-17页 |
| ·VDMOS器件的基本特性 | 第17-27页 |
| ·器件的技术特点 | 第17-18页 |
| ·器件的静态特性 | 第18-24页 |
| ·器件的动态特性 | 第24-27页 |
| ·VDMOS功率器件的基本原理 | 第27-29页 |
| ·VDMOS器件的基本结构 | 第27-28页 |
| ·VDMOS器件的工作原理 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 VDMOS器件的设计及仿真软件简介 | 第30-40页 |
| ·器件的设计 | 第30-34页 |
| ·器件结构的设计 | 第31-33页 |
| ·器件参数的设计 | 第33-34页 |
| ·MEDICI使用的简介 | 第34-37页 |
| ·器件的基本结构仿真 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 VDMOS器件的静态特性仿真与分析 | 第40-45页 |
| ·器件的击穿电压 | 第40-41页 |
| ·导通电阻及输出特性 | 第41-43页 |
| ·器件的转移特性分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 VDMOS器件瞬态特性的仿真及分析 | 第45-53页 |
| ·动态特性仿真 | 第45-50页 |
| ·寄生电容的特性仿真 | 第45-47页 |
| ·瞬态特性分析 | 第47-50页 |
| ·温度对器件的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 附录 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
