| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-42页 |
| ·课题研究背景及目的 | 第14-16页 |
| ·共焦显微测量基础理论研究现状 | 第16-22页 |
| ·针孔掩模有限尺度影响 | 第17-19页 |
| ·点探测器位置误差影响 | 第19-21页 |
| ·相干传递函数理论与边缘判据 | 第21-22页 |
| ·共焦显微测量技术研究现状 | 第22-32页 |
| ·高分辨率共焦显微测量技术 | 第22-27页 |
| ·大量程抗扰动共焦显微测量技术 | 第27-29页 |
| ·高效共焦显微测量技术 | 第29-32页 |
| ·超分辨滤波基础理论研究现状 | 第32-38页 |
| ·超分辨效应的物理含义 | 第33-34页 |
| ·超分辨特性评价模型研究现状 | 第34-36页 |
| ·超分辨滤波器设计方法研究现状 | 第36-38页 |
| ·新型超分辨滤波器研究现状 | 第38-40页 |
| ·波前滤波器发展现状 | 第38-39页 |
| ·偏振滤波器发展现状 | 第39-40页 |
| ·本领域存在的科学问题 | 第40页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第40-42页 |
| 第2章 旁瓣全局最小化滤波器设计方法 | 第42-55页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·相位旋转变换 | 第42-46页 |
| ·旁瓣全局最小化滤波器设计方法 | 第46-50页 |
| ·横向超分辨滤波器设计 | 第50-54页 |
| ·近轴衍射超分辨滤波器设计验证 | 第50-52页 |
| ·非近轴衍射超分辨滤波器设计验证 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第3章 合成复振幅超分辨滤波器 | 第55-64页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·合成复振幅超分辨滤波原理 | 第55-62页 |
| ·等价超分辨滤波作用分析 | 第58-59页 |
| ·初始相位差调节误差影响分析 | 第59-62页 |
| ·合成超分辨滤波原理实验验证 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第4章 超分辨移相共焦扫描显微测量方法 | 第64-91页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·测量原理 | 第64-73页 |
| ·非均匀反射扰动共焦探测模型 | 第65-69页 |
| ·移相共焦离焦量方程 | 第69-73页 |
| ·轴向特性分析 | 第73-84页 |
| ·理论量程分析 | 第73-75页 |
| ·非近轴衍射适用性分析 | 第75-78页 |
| ·二次共焦位移影响分析 | 第78-79页 |
| ·二次共焦定位误差影响分析 | 第79-80页 |
| ·移相误差影响分析 | 第80-82页 |
| ·光强探测噪声影响分析 | 第82页 |
| ·干涉条纹对比度 | 第82-84页 |
| ·阶跃边成像 | 第84-90页 |
| ·阶跃边成像模型 | 第84-86页 |
| ·横向超分辨特性分析 | 第86-88页 |
| ·边缘位置判据 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 第5章 超分辨复色差动共焦显微测量方法 | 第91-106页 |
| ·引言 | 第91页 |
| ·测量原理 | 第91-99页 |
| ·非均匀反射扰动抑制原理 | 第93-94页 |
| ·超高灵敏度响应特性 | 第94-97页 |
| ·复色照明量程扩展特性 | 第97-98页 |
| ·色散控制误差对量程扩展的影响 | 第98-99页 |
| ·阶跃边成像 | 第99-105页 |
| ·边缘位置判据 | 第99-102页 |
| ·离焦测量边缘判据 | 第102-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第106-124页 |
| ·引言 | 第106页 |
| ·超分辨移相共焦显微测量特性实验 | 第106-113页 |
| ·超分辨移相共焦实验系统组成 | 第106-108页 |
| ·移相共焦轴向分辨率实验 | 第108-109页 |
| ·非均匀反射扰动抑制实验 | 第109-110页 |
| ·边缘位置判定实验 | 第110-113页 |
| ·超分辨复色差动共焦显微测量特性实验 | 第113-123页 |
| ·超分辨复色差动共焦实验系统组成 | 第113-114页 |
| ·复色差动共焦轴向灵敏度特性实验 | 第114-118页 |
| ·复色差动共焦轴向分辨率实验 | 第118-119页 |
| ·非均匀反射扰动抑制实验 | 第119-121页 |
| ·边缘位置判定实验 | 第121-123页 |
| ·本章小结 | 第123-124页 |
| 结论 | 第124-127页 |
| 参考文献 | 第127-136页 |
| 附录 TGZ1_PTB标准光栅可溯源证书 | 第136-143页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文 | 第143页 |
| 攻读博士学位论文期间申请的与本课题直接相 关的国家发明专利 | 第143-144页 |
| 攻读博士学位论文期间完成的与本课题直接相关的科研项目成果 | 第144-146页 |
| 致谢 | 第146-147页 |
| 个人简历 | 第147页 |