高频动态压力传感器设计与应用

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
第一章 绪论	第6-12页
·研究背景	第6-7页
·国内外研究现状	第7-9页
·本课题的主要工作与结构安排	第9-12页
第二章 硅压阻压力传感器基础	第12-18页
·硅材料的特性	第12-13页
·硅的压阻效应	第13-14页
·硅压阻压力传感器原理	第14-16页
·硅压阻压力传感器技术的进步	第16-18页
第三章 硅压阻高频动态压力传感器设计	第18-38页
·高频动态压力传感器的总体设计	第18-22页
·力敏元件的版图布局设计	第22-24页
·力敏元件的制作工艺流程及工艺设计	第24-28页
·工艺流程	第24页
·工艺设计	第24-28页
·高频动态压力传感器封装结构设计	第28-33页
·自由场高频动态压力传感器设计	第33-34页
·高频宽带放大器设计	第34-36页
·本章小结	第36-38页
第四章 高频动态压力传感器的标定及应用	第38-48页
·高频动态压力传感器的动态标定	第38-41页
·高频动态压力传感器的实际应用	第41-43页
·带无线存储的高频动态压力传感器的前瞻性开发	第43-47页
·本章小结	第47-48页
第五章 工作总结与展望	第48-50页
致谢	第50-52页
参考文献	第52-58页
研究成果	第58-60页