硅压阻微压传感器的设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-15页
·课题研究意义	第8页
·国内外常见类型的微压传感器性能特点及研究状况	第8-14页
·压阻式硅微压力传感器	第8-13页
·电容式硅微压力传感器	第13页
·谐振式硅微压力传感器	第13-14页
·本课题的主要内容及创新点	第14-15页
第二章 硅压阻式微压传感器的力敏结构设计	第15-27页
·几种常用硅压阻微压传感器力敏结构的分析对比	第15-24页
·梁膜岛复合力敏结构的设计	第24-27页
第三章 硅压阻式微压传感器的参数与性能设计	第27-41页
·量程与输出灵敏度	第27-28页
·非线性与精度	第28-32页
·温度系数与补偿	第32-35页
·过载与保护	第35页
·零位稳定性	第35-41页
·机理分析	第35-36页
·高浓度注入区和铝引线引起的失配	第36页
·光刻随机误差引起的电阻失配	第36-38页
·复合层结构引入的应力因素	第38-39页
·其他因素引入的零点输出	第39-41页
第四章 硅压阻式微压传感器的版图与工艺设计	第41-46页
·力敏芯片版图设计	第41-44页
·制作工艺设计与工艺流程图	第44-46页
第五章 硅压阻式微压传感器的工艺制作与难点突破	第46-57页
·双面对准与各项异性腐蚀控制	第46-48页
·硅-硅键合与反应离子深刻蚀开孔	第48-52页
·无掩膜光刻技术及乳凸角补偿	第52-53页
·应力互补与无应力制造	第53-55页
·无应力封装	第55-57页
第六章 硅压阻式微压传感器的参数测试与分析结论	第57-58页
参考文献	第58-60页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第60-61页
致谢	第61页