| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·概述 | 第9页 |
| ·随机表面的描述 | 第9-14页 |
| ·随机表面的主要测量方法 | 第14-18页 |
| ·接触式测量法 | 第14-16页 |
| ·非接触式测量法 | 第16-18页 |
| ·本文的主要内容 | 第18-19页 |
| 第二章 自仿射分形随机表面光散射轮廓及表面统计参量的提取 | 第19-30页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·自仿射分形随机表面的计算模拟 | 第19-21页 |
| ·自仿射分形随机表面光散射轮廓的计算模拟 | 第21-22页 |
| ·散射光强轮廓半宽度 | 第22-25页 |
| ·Ω<< 1 和Ω>> 1 时散射轮廓半宽度 | 第22-23页 |
| ·Ω取任意值时散射轮廓的半宽度 | 第23-25页 |
| ·自仿射分形随机表面的散射理论及统计参量提取方法 | 第25-29页 |
| ·自仿射分形随机表面的散射理论 | 第25-28页 |
| ·由散射轮廓提取自仿射分形随机表面参量的方法 | 第28-29页 |
| ·总结 | 第29-30页 |
| 第三章 门积分的散射光强轮廓测量系统 | 第30-35页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·检测系统的门积分信号处理方法 | 第30-31页 |
| ·测量系统的连接及工作过程 | 第31-34页 |
| ·结论 | 第34-35页 |
| 第四章 可分离各向异性随机表面光散射轮廓实验研究 | 第35-48页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·样品表面的AFM 形貌测量和参量提取 | 第35-38页 |
| ·散射方位曲线的计算模拟 | 第38-42页 |
| ·散射光强轮廓的实验测量 | 第42-44页 |
| ·实验结果及分析 | 第44-45页 |
| ·由AFM 数据计算模拟光强与实验测量光强比较 | 第45-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| 第五章 总结及展望 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-54页 |
| 攻读硕士期间主要研究成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55页 |