智能双室真空镀膜机的控制系统设计

摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
1 绪论	第11-14页
·课题的背景及意义	第11页
·目前国内外真空镀膜机的研究现状	第11-12页
·课题的主要研究内容	第12-13页
·小结	第13-14页
2 真空镀膜机的系统结构	第14-21页
·真空镀膜概述	第14页
·镀膜机的总体结构	第14-18页
·双室镀膜机的工艺	第18-19页
·顺序控制部分	第18-19页
·蒸发模拟部分	第19页
·小结	第19-21页
3 镀膜机的控制系统硬件	第21-31页
·可编程控制器S7-200概述	第21-25页
·CPU224模块	第22-23页
·模出模块EM232	第23-24页
·编程电缆及通讯电缆	第24-25页
·TD 200文本显示器介绍	第25-29页
·命令键	第27页
·功能键	第27-29页
·TD 200的组态	第29页
·小结	第29-31页
4 PLC程序设计	第31-41页
·PLC软件功能图	第31-34页
·初始化时参数设定子程序	第34-37页
·蒸发子程序	第37-39页
·中断服务程序INT_0	第39-40页
·小结	第40-41页
5 真空镀膜机参数设置与显示设计	第41-61页
·TD 200信息显示与参数设置设计	第41-53页
·TD200的程序设计	第53-60页
·使能信息程序设计	第53-56页
·参数设置编辑程序设计	第56-60页
·小结	第60-61页
6 总结和展望	第61-62页
·本文工作总结	第61页
·进一步工作和打算	第61-62页
参考文献	第62-64页
致谢	第64-65页
作者简介及读研期间主要科研成果	第65页